產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產業(yè),電子,印刷包裝,紡織皮革 |
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機臺型號:PM216L
整機規(guī)格:1450mm(W)×1720mm(H)×1150 mm(D)
電極規(guī)格:10層平板式電極板(560(W)×500(D)mm)可定制
電源系統(tǒng):5KW等離子體發(fā)生源(40KHz,可選13.56MHz)
控制系統(tǒng):觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng):2—5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O2