設(shè)備尺寸:6900(W)×1150(H) ×1650(D) mm
設(shè)備總重:≈2500Kg
處理寬幅:520mm(Max)
安裝卷徑:300mm(Max)
電力需求:380V、3 相、5 線
額定功率:30KVA
等離子電源:20KVA、40KHz
氣體輸入:4路工藝氣體 + 1路壓縮空氣
工藝氣體控制:電磁閥 + MFC控制,0-1000SCCM
工藝氣體供給:0.2-0.8MPa,>5L/Min
工藝氣體純度:O2=99.99%; Ar2=99.99%;
N2=99.99%; CF4=99.999%;
壓縮氣體控制:電磁閥
壓縮氣體需求:除水除油除塵,0.4-0.8MPa
處理速度:0-5m/min(視使用情況而定)
設(shè)備組成
機架部分收放卷部分
采用氣漲軸承載、收放物料;
采用變頻器帶動電機控制走料速度;
采用磁流體密封隔絕真空;
采用張力傳感器探測張力大小;
采用磁粉離合器控制張力強度;
采用糾偏傳感器檢測物料位置及偏移量;
采用收卷糾偏一體式系統(tǒng)控制物料整齊度;
收放卷倉分別配置接料平臺用于物料接駁;
放卷配置自動撕膜功能;
收卷配置自動覆膜功能。
等離子部分
20KVA,40KHz大功率等離子體電源;
中通冰水等離子體電極。
自動控制部分
歐姆龍PLC控制;
MCGS工業(yè)觸摸屏操作。
氣體控制部分
采用SNS調(diào)壓閥調(diào)節(jié)氣體壓力;
采用CKD電磁閥控制氣體通斷;
采用Seven Star質(zhì)量流量控制器控制氣體流量。
真空控制部分
采用Han Bell螺桿泵+羅茨泵真空泵組;
采用MKS真空計探測真空度;
采用GD高真空擋板閥控制真空管道通斷。
溫度控制部分
采用冰水機控制真空腔室溫度;
采用模溫機控制真空腔室溫度。