半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性能。

iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。通常情況下在使用螺桿泵時，應定期的對螺桿泵進行檢查，發(fā)現(xiàn)故障要及時維修。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分，螺桿泵小修的檢查周期用在6個月左右，大修的檢查周期應在24個月。根據(jù)螺桿泵運行狀況及狀態(tài)監(jiān)測結(jié)果可適當調(diào)整檢修周期。

半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修前準備在檢修螺桿泵前應做好以下準備工作。

①掌握運行情況，備齊必要的圖紙資料。

②備齊檢修工具、量具、配件及材料。

③切斷電源及設(shè)備與系統(tǒng)聯(lián)系，內(nèi)部介質(zhì)冷卻、吹掃、置換干凈，符合安全檢修條件。

螺桿泵的拆卸與檢查

拆卸螺桿泵時應按以下步驟進行。

①檢查電動機電源；電源應斷開，并將電源開關(guān)上鎖。檢查出、人口閥門關(guān)閉情況，若沒有關(guān)閉，應關(guān)緊。

②松開電動機與泵軸之間的聯(lián)軸器的連接螺栓，卸下聯(lián)軸器。

③拆卸檢查同步齒輪。

對于單螺桿泵或三螺桿泵，拆卸泵后端蓋，檢查墊片、止推墊片、軸承、軸向定位塞。

對于雙螺桿泵，拆卸泵后端蓋，拆卸檢查軸承及密封。

④拆卸前端蓋，拆卸檢查主、從動螺稈及密封。

⑤必要時更換端蓋與泵體之間墊片。

半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修，超長保固期。