測量范圍

X方向

100mm

Z1（傳感器）

20mm

高度

300mm

小內(nèi)孔

30mm (換小測針可測更小內(nèi)徑)

測量精度

X方向

（L=X軸移動導(dǎo)軌距離）

±（1.2+2L/100）μm

Z方向

（H=Z軸方向測量高度）

±（1.8+3H/100）μm

傳感器

類型

電感傳感器

分辨率

0.02μm

產(chǎn)地

進(jìn)口

X軸

直線度

0.20μm /60mm

分辨率

0.1μm

產(chǎn)地

進(jìn)口

爬坡角度

上升77度 下降88度

測量速度（輪廓）

0.02mm至4.0mm/s

測量方式

傳感器移動

工作壓力

0.35～0.43Mpa

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m³/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度：10～30℃ 相對濕度：＜85%

機(jī)械部分

大理石工作臺面及主機(jī)儀器架

氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)

方立柱系統(tǒng)

傳感器系統(tǒng)

進(jìn)口光柵尺系統(tǒng)

調(diào)整工作臺

水平調(diào)整系統(tǒng)

回轉(zhuǎn)及角度調(diào)試系統(tǒng)

平口裝夾系統(tǒng)

校正標(biāo)準(zhǔn)件一套

測針與測桿

Φ2*18mm斜測針  2根

Φ2*18mm尖測針  2根

Φ5*120mm測桿    1根

   空氣過濾系統(tǒng)

電器部分

電器控制系統(tǒng)

工業(yè)控制計算機(jī)

工控主板 NORCO950

工控底板 NORCO PBP-14P4

CPU E5500

金士頓 2G 三代

硬盤SEAGATE 500G

17″普屏液晶

基于win XP系統(tǒng)下MMD測量軟件

HP噴墨打印機(jī)

   電腦桌