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產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	電子,航天,汽車(chē),電氣,綜合

名稱(chēng)：SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP

型號(hào)：SEM Base LP

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM Base LP

SEM-Base-LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝，提供*越的性能，并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。緊湊的設(shè)計(jì)便于安裝，無(wú)需使用掃描電子顯微鏡（SEM）的內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來(lái)提升掃描電子顯微鏡（SEM）柱。而且，一旦安裝，掃描電鏡的高度以上的地板不會(huì)增加。SEM-Base-LP采用了我們*特的STACIS壓電技術(shù)，具有與我們的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base-VI相同的振動(dòng)消除性能。SEM-Base-LP包括腳輪，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于與許多賽默飛世爾科技（前身為FEI）工具集成。

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

兼容的Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)

SEM Base LP與許多Thermo Fisher產(chǎn)品型號(hào)兼容，包括

●Apreo

●Aquilos

●Helios Small DualBeam

●Nova NanoSEM x50

●Quattro S

●Scios

●Teneo

●Verios G4

●Verios 460, 460L

●Versa 3D

如果您的SEM/FIB未列出，請(qǐng)聯(lián)系我們檢查兼容性。

SEM-Base優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù)–SEM底座與內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，并積極緩解0.6 Hz的低頻地板振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除-掃描電鏡基地使用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減，即使在安靜的地板。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)–*特的串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高壓壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬，以及**倫比的慣性主動(dòng)消振，從2 Hz開(kāi)始可降低90%。

性能

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

規(guī)格

性能

主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 100 Hz
被動(dòng)固有頻率	標(biāo)稱(chēng)值為12 Hz
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
2 Hz時(shí)的隔振	90%
≥3 Hz時(shí)的隔振	90 - 98%
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作負(fù)載范圍	標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）
磁場(chǎng)發(fā)射 4英寸（102毫米）處距離平臺(tái)	<0.02 μG broadband RMSd>

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全	符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動(dòng)隔振元件	最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動(dòng)隔振元件	單個(gè)硬彈性體（無(wú)需壓縮空氣源）
振動(dòng)傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和支撐隔離面
尺寸（寬 x 深）	35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米
高度	標(biāo)稱(chēng)6.3英寸（160毫米），SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變
工作溫度	50° - 90°F 10° - 32°C
儲(chǔ)存溫度	-40° - 130°F -40° - 55°C
濕度	80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C
系統(tǒng)電源要求	100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；<600 W，符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移	<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器	150/75 MHz雙核
采樣率	10 kHz
模擬輸出	16個(gè)通道
模擬輸入	16個(gè)通道
狀態(tài)燈	單個(gè)LED
前面板端口	1個(gè)串行USB2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC
用戶(hù)界面	前面板液晶顯示屏超級(jí)終端上的字符菜單適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI