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詳細介紹
PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
規(guī)格
型號 | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式，桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調方式 | 自動協(xié)調 | ||
反應部 | 反應腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | ||
控制 | 手動 | 觸摸屏自動控制 | |
配管材質 | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
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