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薄膜厚度均勻度在線(xiàn)測(cè)量系統(tǒng)-MPROBE 60

MProbe 60 是一站式系統(tǒng)，專(zhuān)為研發(fā)中心和小型制造而設(shè)計(jì)。它結(jié)合了測(cè)量厚度/n&k 與自動(dòng)化小點(diǎn)測(cè)量的能力。MProbe 60 已應(yīng)用于研發(fā)納米技術(shù)中心?？梢钥焖倏煽康販y(cè)量 1 nm至 2 mm的厚度，包括多層薄膜堆疊。不同的MProbe 60 型號(hào)主要受光譜儀的波長(zhǎng)范圍和分辨率影響，進(jìn)而決定了可測(cè)量的厚度范圍。

薄膜厚度均勻度測(cè)量系統(tǒng)-MPROBE 60的優(yōu)勢(shì)：

1.具有靈活和模塊化的映射自動(dòng)化的一站式系統(tǒng)

2.精度<0.01nm 或 0.01%

3.500+ 擴(kuò)展材料數(shù)據(jù)庫(kù)

4.軟件：用戶(hù)友好且功能豐富的 TFCompanion 軟件甚至可以處理zui復(fù)雜的應(yīng)用程序。層數(shù)沒(méi)有限制，支持背面反射、表面粗糙度、暗度等等。集成的相機(jī)和成像軟件允許精確定位測(cè)量位置并直接在圖像上顯示結(jié)果

薄膜厚度均勻度在線(xiàn)測(cè)量系統(tǒng)-MPROBE 60選型列表：

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