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晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌Freiberg Instruments

廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2024-11-02 11:28:55瀏覽次數(shù):224次

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價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類(lèi) 雙晶衍射
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測(cè)定等。Si | SiC | AlN | 藍(lán)寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD


產(chǎn)品特點(diǎn)

晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測(cè)定等。Si | SiC | AlN | 藍(lán)寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品介紹:

晶圓XRD的特點(diǎn)

◇  自動(dòng)化的晶圓處理和分類(lèi)系統(tǒng)(例如:盒到盒)。

◇  晶體取向和電阻率測(cè)量 

◇  晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(zhǎng)度)的光學(xué)測(cè)定 

◇  未拋光的晶圓和鏡面的距離測(cè)量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口



Omega-scan方法:

◇  高的精度 

◇  測(cè)量速度: < 5秒/樣品 

◇  易于集成到工藝線(xiàn)中 

◇  典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,小于< 0.001 °。


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