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綜合 |
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測(cè)定等。Si | SiC | AlN | 藍(lán)寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)XRD
產(chǎn)品特點(diǎn)
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統(tǒng)用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測(cè)定等。Si | SiC | AlN | 藍(lán)寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹:
晶圓XRD的特點(diǎn):
◇ 自動(dòng)化的晶圓處理和分類(lèi)系統(tǒng)(例如:盒到盒)。
◇ 晶體取向和電阻率測(cè)量
◇ 晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(zhǎng)度)的光學(xué)測(cè)定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測(cè)量
◇ MES和/或SECS/GEM接口

Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 測(cè)量速度: < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線(xiàn)中
◇ 典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。