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上海進佳科學儀器有限公司
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當前位置:上海進佳科學儀器有限公司>>日本horiba>>horiba壓力控制器>> SEC-Z512、Z522、Z524horiba高品質數(shù)字式質量流量計

horiba高品質數(shù)字式質量流量計

參   考   價: 18200

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號SEC-Z512、Z522、Z524

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質代理商

所  在  地上海市

更新時間:2024-11-19 10:57:39瀏覽次數(shù):1163次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網
產地類別 進口 產品種類 質量式
價格區(qū)間 1萬-3萬 介質分類 氣體
應用領域 生物產業(yè),能源,電子,汽車,電氣
horiba高品質數(shù)字式質量流量計SEC-Z512、Z522、Z524多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,我公司提供進口Z514、Z524,保修期1年。

暢銷型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

國內組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

 

一、產品概述:

horiba高品質數(shù)字式質量流量計SEC-Z512、Z522、Z524屬于SEC-500X系列,高性能數(shù)字式質量流量控制器多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內多回收、二次銷售,我公司提供進口Z514、Z524,保修期1年。

 

二、產品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現(xiàn)場設定;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速響應:<1秒(全量程范圍內,任意設置點);

4)非常方便的現(xiàn)場設置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現(xiàn)有模擬式質量流量控制器兼容;

7)模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時進行;

8)氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型);SUS 316L不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。

 

三、horiba高品質數(shù)字式質量流量計產品參數(shù):

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉換模式

型號*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標準流量(N2轉換流量)

1/2SCCM

10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O:通常打開 C:通常關閉

關閉控制閥時的流量

≤2% F.S.

流量測量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)

響應

≤1秒:超過全流量范圍

直線性

≤±0.5% F.S.

反復性

≤±0.2% F.S.

工作壓差值

≤300kPa(d)

zui大工作壓力

450kPa(g)

耐壓

1000kPa(g)

外部泄漏率

≤5x10-12Pa·m3/s(He)

流量設定信號

0.1-5V DC(2%-F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高

流量輸出信號

0-5VDC(0%-F.S.);zui小負荷阻力2kΩ或更高

數(shù)字界面

地址功能:RS-485(轉換速度38,400bps)

F-Net協(xié)議,DevceNet

接液部材質

316L不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號反應

模擬:D-Sub 9-pin(TOP)

數(shù)字:2LAN jacks(TOP)

標準接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS:完整氣體系統(tǒng)。
*SCCM和SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at0°C和101.3kPa)。

 

本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質量流量計、質量流量控制器、數(shù)字式質量流量控制器、耐腐蝕質量流量控制器。

進口數(shù)字型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

進口低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S,omega FMA1815S。

國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32。

國內組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件:韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,美國Valex不銹鋼管,1/4”EP級不銹鋼管、3/8”EP級不銹鋼管、1/2”EP級不銹鋼管。

 

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