石墨烯/多孔氮化硅復(fù)合材料 Si3N4
摘要：基于等離子體化學(xué)氣相沉積法,干法刻蝕,化學(xué)氣相沉積法及腐蝕基底法,制備了一種石墨烯與多孔氮化硅復(fù)合材料;該結(jié)構(gòu)的氮化硅襯底具有不同的形貌結(jié)構(gòu)(孔陣列及溝道陣列).利用掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡,拉曼光譜儀對石墨烯/多孔氮化硅復(fù)合材料進(jìn)行表征和表面應(yīng)力性質(zhì)研究.結(jié)果表明:不同形貌結(jié)構(gòu)的氮化硅與石墨烯復(fù)合后的表面應(yīng)力不同.表面粗糙度,表面形貌及表面面積是影響復(fù)合材料表面應(yīng)力的主要因素.其中,氮化硅多孔形貌結(jié)構(gòu)(應(yīng)變0.1%~0.12%)與氮化硅溝道形貌結(jié)構(gòu)(應(yīng)變0.16%~0.27%)相比,更有利于緩解石墨烯/多孔氮化硅復(fù)合材料的表面應(yīng)力集中問題.
石墨烯/多孔氮化硅復(fù)合材料 Si3N4
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