目錄:青島森泉光電有限公司>>光機(jī)械>>位移臺(tái)>> Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺(tái)MAX603D
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺(tái)MAX603D,納米定位
Thorlabs的NanoMax™ 6軸納米定位撓性位移臺(tái)采用平行的撓性設(shè)計(jì)確保精確平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng),摩擦幾乎可以忽略。對于復(fù)雜的多軸定位應(yīng)用,平行撓性位移臺(tái)將三個(gè)以上自由度集成在單個(gè)小型裝置中,明顯比按序堆疊位移臺(tái)的設(shè)計(jì)具有好的性能。非常適合光纖耦合系統(tǒng),或需要亞微米分辨率的應(yīng)用。
同時(shí)我們提供帶或不帶預(yù)配置壓電驅(qū)動(dòng)器(開環(huán)/閉環(huán))、差分或步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的版本。位移臺(tái)的標(biāo)稱載物臺(tái)高度為112.5 mm(4.43英寸),匹配高度為112.5 mm的5軸位移臺(tái)套件。我們也提供轉(zhuǎn)接板,用于將3軸和4軸撓性位移臺(tái)的載物臺(tái)高度從62.5 mm提升到112.5 mm,從而兼容我們的NanoMax™6軸位移臺(tái)。
我們的6軸NanoMax位移臺(tái)作為功能強(qiáng)大的納米定位工具還有2個(gè)創(chuàng)新點(diǎn):一是公共旋轉(zhuǎn)支點(diǎn),二是將所有調(diào)節(jié)器直接耦合到底座的專有設(shè)計(jì),以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運(yùn)動(dòng)。
公共旋轉(zhuǎn)點(diǎn)
如下圖所示,每個(gè)NanoMax 6軸位移臺(tái)在移動(dòng)平臺(tái)前都有不銹鋼探針,標(biāo)記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn)。所有旋轉(zhuǎn)軸具有公共支點(diǎn),可以減少系統(tǒng)的對準(zhǔn)時(shí)間,因?yàn)檫@樣在調(diào)整θx、θy和θz時(shí)不需要補(bǔ)償橫向運(yùn)動(dòng)。如果移動(dòng)平臺(tái)開始平移,支點(diǎn)也會(huì)相對底座移動(dòng),保持支點(diǎn)和移動(dòng)平臺(tái)的相對位置。
可拆下的不銹鋼探針頂部標(biāo)記了所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn)
點(diǎn)P是所有三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸(偏轉(zhuǎn)、俯仰和擺動(dòng))的公共支點(diǎn)。
精密驅(qū)動(dòng)
NanoMax™6軸位移臺(tái)提供預(yù)配置差分測微頭驅(qū)動(dòng)器或步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的位移臺(tái),即開即用。NanoMax 6軸位移臺(tái)的模塊化設(shè)計(jì)允許在任何時(shí)候拆卸和更換驅(qū)動(dòng)器。驅(qū)動(dòng)器都直接耦合到底座,以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運(yùn)動(dòng)。這種特性非常適合需要亞微米級分辨率的應(yīng)用。對于納米定位應(yīng)用,我們有內(nèi)置壓電驅(qū)動(dòng)器的版本包括開環(huán)和閉環(huán)。
壓電選項(xiàng)
開環(huán)或閉環(huán)的壓電選項(xiàng)讓這些位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)納米級的分辨率。內(nèi)置于位移臺(tái)的壓電驅(qū)動(dòng)器具有30 µm的行程,可使用多種開環(huán)或閉環(huán)壓電控制器控制。將這些位移臺(tái)與NanoTrak控制器(K-Cube、臺(tái)式或機(jī)架系統(tǒng)模塊)耦合時(shí),系統(tǒng)具有強(qiáng)大的自對準(zhǔn)功能,能夠維持光通量,并消除由于熱漂移或其它外力引起的耦合效率損耗。這些壓電位移臺(tái)包含6根PAA100驅(qū)動(dòng)電纜,在閉環(huán)系統(tǒng)的情況下,包含6根PAA622反饋?zhàn)儞Q器電纜。
具有開環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)器的位移臺(tái)沒有應(yīng)變儀位移傳感器,非常適合需要定位分辨率低至20 nm的應(yīng)用。帶閉環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)器的版本內(nèi)部有應(yīng)變儀位移傳感器,可提供與壓電元件的位移呈線性比例的反饋電壓信號(hào)。這種反饋信號(hào)將分辨率提高到5 nm,可用于補(bǔ)償所有壓電元件中固有的遲滯、蠕變和熱漂移,使這些位移臺(tái)成為需要納米級分辨率應(yīng)用的好的選擇。
請注意,壓電機(jī)制利用與測微計(jì)驅(qū)動(dòng)器的接觸來移動(dòng)頂部平臺(tái)。不管出于任何原因,如果位移臺(tái)在拆除測微計(jì)驅(qū)動(dòng)器的情況下工作,必須在壓電驅(qū)動(dòng)器運(yùn)行之前安裝盲塞。
配件的簡易對準(zhǔn)
我們提供多種配件來安裝產(chǎn)品,比如顯微物鏡、準(zhǔn)直器、波導(dǎo)、光纖等更多產(chǎn)品。這些配件可以通過中心鍵槽在6軸位移臺(tái)的頂部平臺(tái)上輕的松實(shí)現(xiàn)對準(zhǔn)。頂部平臺(tái)的中心鍵槽便于快速重新配置系統(tǒng),同時(shí)還能在整個(gè)實(shí)驗(yàn)中維持配件的對準(zhǔn)。
Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺(tái)MAX603D,納米定位
產(chǎn)品特性與參數(shù)
X軸、Y軸和Z軸行程為4 mm(0.16英寸)
θx、θy、θz(擺動(dòng)、俯仰和偏轉(zhuǎn))行程為6°(105 mrad)
公共支點(diǎn),實(shí)現(xiàn)所有旋轉(zhuǎn)自由度,簡化對準(zhǔn),減少串?dāng)_
平行撓性設(shè)計(jì),確保平滑連續(xù)的運(yùn)動(dòng)和長期的穩(wěn)定性
頂板帶凹槽,確保多軸位移臺(tái)配件的對準(zhǔn)
壓電選項(xiàng)提供z高1 nm的分辨率
高剛度撓性設(shè)計(jì):
X軸和Z軸:1 N/µm
Y軸:0.5 N/µm
共振頻率高:>130 Hz(±10%)
一體式單移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
所有調(diào)節(jié)器都耦合到底座,將串?dāng)_降到z低
模塊化設(shè)計(jì),便于交換驅(qū)動(dòng)器
維護(hù)成本低,降低總持有成本
不帶驅(qū)動(dòng)器
帶步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器
帶差分驅(qū)動(dòng)器
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)