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M3030A質(zhì)量流量控制器

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ALICAT微小流量質(zhì)量流量控制器

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流量?jī)x表: 熱式質(zhì)量流量控制器高壓質(zhì)量流量計(jì) 熱式質(zhì)量流量計(jì) ALICAT質(zhì)量流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器流量標(biāo)定 Linetech質(zhì)量流量計(jì) Porter質(zhì)量流量計(jì) ALICAT質(zhì)量流量控制器微小流量質(zhì)量流量控制器工業(yè)用質(zhì)量流量計(jì) 抗腐蝕質(zhì)量流量計(jì) 電磁流量計(jì) 渦輪流量計(jì) 液體質(zhì)量流量控制器液體體積流量計(jì) 液體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計(jì)

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M3030A質(zhì)量流量控制器，韓國(guó)Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器耐壓90bar，可測(cè)量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時(shí)間快，性價(jià)比高，可廣泛用于設(shè)備配套。韓國(guó)LINETECH經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器Z大流量可測(cè)到300SLPM，質(zhì)量流量計(jì)的Z大流量可測(cè)到1000SLPM。

詳情介紹

M3030A質(zhì)量流量控制器

一、M3030A質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

測(cè)量質(zhì)量流量
無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償
結(jié)構(gòu)緊湊
精度高
工作壓力高
響應(yīng)時(shí)間快
重復(fù)性高

二、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	質(zhì)量流量計(jì)	質(zhì)量流量控制器
流量范圍(N2)	10SCCM~1000SLPM	10SCCM ~ 300slpm
響應(yīng)時(shí)間	<2 sec	<2 sec
精準(zhǔn)度	≤±1% FS	≤±1% FS
重復(fù)精度	±0.25% FS	±0.25% FS
輸入/輸出信號(hào)	0~5 Vdc OR 4~20 mA	0~5 Vdc OR 4~20 mA
供電電源	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐壓	<90bar	0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar
工作環(huán)境溫度	0~50 °C	0~50 °C
漏率	1*10E-9 atm cc/sec	1*10E-9 atm cc/sec
使用范圍	2 ~ 100%	2~ 100%