波多野结衣中文无码,一区二区三区中文字幕人妻,日本福利一区二区三区四区,久久er99精品国产一区

那諾中國有限公司
中級會員 | 第11年

18916157635

當(dāng)前位置:那諾中國有限公司>>生長系統(tǒng)>>MOCVD設(shè)備>> NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地國外

更新時間:2023-11-13 12:24:02瀏覽次數(shù):2028次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥
NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng):針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。

等離子輔助MOCVD技術(shù)

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。

目前,這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)應(yīng)用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

特點:

  • 獨(dú)立系統(tǒng)
  • 14”不銹鋼立方體腔體
  • 1次在8”樣品臺上處理16”晶圓片或在12”樣品臺上處理54”片子
  • 加熱的氣體管路
  • RF等離子源,自動調(diào)諧
  • 淋浴頭氣體分布
  • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
  • N2沖洗
  • 全自動上下載片
  • 可以兼容到集群配置中

 

    會員登錄

    ×

    請輸入賬號

    請輸入密碼

    =

    請輸驗證碼

    收藏該商鋪

    X
    該信息已收藏!
    標(biāo)簽:
    保存成功

    (空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

    常用:

    提示

    X
    您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
    撥打電話
    在線留言
    | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | |