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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
1、射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；
2、齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;
3、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;
4、爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。
1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)參數(shù)：
工作電源：
•輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz
•總功率：<4KW
加熱爐參數(shù)：
•最高溫度：1100℃(<30min)；連續(xù)工作溫度：1000℃;
•兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;
•工作電壓：110V；
•額定功率：1.5KW；
•回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5rpm。
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達(dá)10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選)：
•客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度：±0.02%);
•流量范圍：
•氣體進(jìn)出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出
•PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置
循環(huán)水冷機(jī)：
標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機(jī)，水流速率：16L/min
產(chǎn)品尺寸和重量：
尺寸：1400mmL-600mmW-1240mmH
凈重：90Kg
承諾：
一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
