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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,交通,汽車,電氣 |
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TruPlasma Bipolar 4010等離子電源
新一代雙極性脈沖發(fā)生器
TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專為借助 PVD、PECVD 和反應(yīng)濺射工藝的等離子體輔助鍍膜技術(shù)而開發(fā)；在太陽能電池與半導(dǎo)體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中，其憑借靈活可塑的輸出信號和的電弧管理提供出色結(jié)果。
極低電弧能量
全數(shù)字化電弧管理確保出色的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
可調(diào)波形
通過輸出信號變化輕松適配不同工藝。
一臺發(fā)生器，多種用途
直流電、被動脈沖式直流電和雙極脈沖：得益于多種調(diào)整選項可節(jié)約成本。
集成的水冷
無需外部部件，因此空間需求極低。
典型應(yīng)用領(lǐng)域為半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)、建筑玻璃涂層以及質(zhì)量*的裝飾性耐磨涂層制造。此外可特別用于 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強化學(xué)氣相沉積）。
具有極少電弧能量的全數(shù)字化電弧管理實現(xiàn)較高的涂層質(zhì)量和沉積速率。即使在要求嚴苛的反應(yīng)工藝中，TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列仍始終確保穩(wěn)定的工藝電源，從而保障穩(wěn)定的等離子體狀態(tài)。
憑借可調(diào)波形，TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列電源能夠相當輕松地適配不同工藝要求。得益于輸出信號的靈活選擇（直流電、被動脈沖式直流電或雙極脈沖），可多樣化使用該電源，因此有助于降低總體運行成本 (TCO)。
由于水冷裝置完整集成于不受環(huán)境影響的發(fā)生器殼體內(nèi)，因此無需外部部件。
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