極紫外EUV/軟X射線光源

無電極Z-Pinch技術(shù)

    各種文獻(xiàn)表面Z-Pinch等離子體能有效地產(chǎn)生極紫外光和軟X射線，但是到現(xiàn)在為止都是使用電極將高放電電流導(dǎo)入等離子體中。電極一般都要與高溫等離子體接觸，可能熔化并產(chǎn)生很多殘留碎屑。

Energetiq*的技術(shù)也是基于Z-Pinch等離子體，但是卻*不使用電極而是通過電感將電流耦合進(jìn)入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過磁性遠(yuǎn)離光源內(nèi)壁，能夠?qū)嶝?fù)載消除到zui低并減少殘留碎屑。Energetiq的無電極Z-Pinch技術(shù)有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率。

EQ-10無電極Z-Pinch 10瓦EUV光源

    EQ-10是一款緊湊、易用、可靠且性價(jià)比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙氣的無電極Z-Pinch技術(shù)。EQ-10 EUV光源特別適合測量學(xué)和研究應(yīng)用。EQ-10 EUV光源的模塊化設(shè)計(jì)使之很容易集成到工藝設(shè)備中。系統(tǒng)包括無電極Z-Pinch光源組裝、真空和氣體子系統(tǒng)、功率輸出子系統(tǒng)和控制電路。EQ-10可以在2π球面度輸出高達(dá)10W的EUV功率，并以高達(dá)2KHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運(yùn)行。

性能

1、使用氙氣在2π球面度輸出10W

2、高達(dá)2KHz脈沖重頻率

3、小等離子體尺寸

4、低殘留

5、低成本

6、氙氣流速低

7、將消耗成本降至zui低

8、占地面小

可靠性

1、無電極Z-Pinch技術(shù)

2、符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

應(yīng)用

1、EUV度量學(xué)

2、耐EUV開發(fā)

3、缺陷檢測

4、EUV顯微學(xué)

EQ-10HP無電極Z-Pinch 20W EUV光源

    EQ-10HP是一款緊湊、易用、可靠且性價(jià)比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙氣的無電極Z-Pinch技術(shù)。EQ-10HP EUV光源特別適合計(jì)量學(xué)和研究應(yīng)用。EQ-10HP工作的輸入功率顯著高于之前的型號且亮度也顯著提高，使之適合于諸如EUV掩膜檢測的成像應(yīng)用。EQ-10HP光源的模塊化設(shè)計(jì)使之很容易集成到工藝設(shè)備中。系統(tǒng)包括無電極Z-Pinch光源組裝、真空和氣體子系統(tǒng)、功率輸出子系統(tǒng)和控制電路。EQ-10HP可以在2π球面度輸出高達(dá)20W的EUV功率，并以高達(dá)2.5kHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運(yùn)行。

性能

1.使用氙氣在2π球面度輸出20W

2.高達(dá)2.5kHz脈沖重頻率

3.小等離子體尺寸

4.低殘留

5.低成本

6.氙氣流速低

7.將消耗成本降至zui低

8.占地面小

可靠性

1.無電極Z-Pinch技術(shù)

2.符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

應(yīng)用

1.EUV掩膜檢測

2.EUV度量學(xué)

3.耐EUV開發(fā)

4.EUV顯微學(xué)

EQ-10HR無電極Z-Pinch 10kHz EUV光源

EQ-10HR是一款緊湊、易用、可靠且性價(jià)比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙氣的無電極Z-Pinch技術(shù)。EQ-10HR高重復(fù)率EUV光源特別適合要求大批量生產(chǎn)模擬的計(jì)量學(xué)和研究應(yīng)用。EQ-10HR EUV光源為一個(gè)獨(dú)立系統(tǒng)，可以直接集成到工藝設(shè)備中。系統(tǒng)包括無電極Z-Pinch光源組裝、真空泵子系統(tǒng)、功率輸出子系統(tǒng)和控制電路。

性能

1.10kHz重復(fù)率

2.小等離子體尺寸

3.低殘留

4.低成本

5.氙氣流速低

6.將消耗成本降至zui低

7.占地面小

可靠性

1.無電極Z-Pinch技術(shù)

2.符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

應(yīng)用

1.EUV光學(xué)元件測試

2.EUV計(jì)量學(xué)

3.耐EUV開發(fā)

4.缺陷檢測

5.EUV顯微學(xué)

EQ-10SXR無電極Z-Pinch軟X射線光源

      EQ-10SXR是一款緊湊、易用、可靠且性價(jià)比高的EUV光源，基于Energetiq使用氮?dú)獾臒o電極Z-Pinch技術(shù)。

EQ-10SXR組成包括一個(gè)19英寸機(jī)架，包括氣體亞系統(tǒng)、功率輸出系統(tǒng)和控制電路；集成真空泵的無電極Z-Pinch光源組裝；和一個(gè)高效率脈沖調(diào)制器。模塊化設(shè)計(jì)使之很容易集成到顯微鏡或其它應(yīng)用設(shè)備中。

EQ-10SXR可以在2π球面度輸出高達(dá)400mW的2.8nm波長功率，并以高達(dá)2kHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運(yùn)行。

為了滿足不同設(shè)備的應(yīng)用要求，用戶可以調(diào)節(jié)光源的工作條件，用戶可以調(diào)到zui高功率zui高亮度。在典型工作條件下等離子體尺寸一般小于1mm直徑。用戶可以通過彩色觸摸屏操作，可手動(dòng)和自動(dòng)工作。EQ-10SXR很好安裝，要求電源、冷水機(jī)、凈化壓縮空氣和高純氮?dú)庠础?/span>

特點(diǎn)

1、使用氮?dú)猱a(chǎn)生2-4nm軟X射線

2、等離子體直徑小于1mm

3、性價(jià)比高、結(jié)構(gòu)緊湊

應(yīng)用

1、水窗顯微鏡

2、細(xì)胞微光束探測

杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家專業(yè)的光電類科研儀器代理商，致力于服務(wù)國內(nèi)科研院所、高等院校實(shí)驗(yàn)室、企業(yè)研發(fā)部門等。我們代理的產(chǎn)品涉及光電子、激光、光通訊、物理、化學(xué)、材料、環(huán)保、食品、農(nóng)業(yè)和生物等領(lǐng)域，可廣泛應(yīng)用于教學(xué)、科研及產(chǎn)品開發(fā)。 

我們主要代理的產(chǎn)品有：微型光纖光譜儀、中紅外光譜儀、積分球及系統(tǒng)、光譜儀附件、飛秒/皮秒光纖激光器、KHz皮秒固體激光器、超窄線寬光纖激光器、超連續(xù)寬帶激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光測量儀器、光學(xué)元器件、精密機(jī)械位移調(diào)整架、光纖、光學(xué)儀器、光源和太赫茲元器件、高性能大口徑瞬態(tài)（脈沖）激光波前畸變檢測干涉儀（用于流場、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析儀、大口徑近紅外平行光管、Semrock公司的高品質(zhì)生物用濾波片以及Meos公司的光學(xué)教學(xué)儀器等。

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