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當(dāng)線圈輸入控制電流信號時，產(chǎn)生電磁力矩，使銜鐵帶動與其剛性聯(lián)接的擋板產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)。兩噴嘴腔壓差改變時，閥芯即在壓差驅(qū)動下作用，帶動小球運動使彈性反饋桿變形，從而向銜鐵組件施加一個反饋力矩，直到這個反饋力矩與力矩馬達(dá)的電磁力矩平衡，銜鐵停留在某個相應(yīng)的偏轉(zhuǎn)角上。此時反饋桿的變形使擋板被部分地拉回中位，最終閥芯的驅(qū)動力與液動力平衡，閥芯停留在相應(yīng)的位移上，此時伺服閥輸出一個對應(yīng)的流量，實現(xiàn)了由控制電流對輸出流量的控制。

油路沖洗
目前航天使用的電液伺服閥，為適應(yīng)航天型號重量輕、安裝空間小、工作環(huán)境惡劣的需求采取集成、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，其中節(jié)流孔、射流盤等核心組件尺寸小，具有精密微小孔和微小型腔結(jié)構(gòu)特征，如圖3、圖4所示，尺寸一般在0.10～0.80mm之間；閥套類零件則為精密深孔且具有通油環(huán)槽、密封槽結(jié)構(gòu)，如圖5所示；殼體類零件則多為形狀復(fù)雜的異形槽、盲孔、斜孔、階梯孔等。
電液伺服閥以液壓油作為工作介質(zhì)，在工作過程中對于多余物的存在十分敏感，多余物來源可分為外部引入、內(nèi)部產(chǎn)生[2]，存在于液壓系統(tǒng)內(nèi)部的死角，如盲孔、小孔、配合表面縫隙以及各密封結(jié)構(gòu)處，直接影響產(chǎn)品的性能，嚴(yán)重時可導(dǎo)致伺服閥工作失效，多余物可能存在于零件制造、裝配及調(diào)試各個環(huán)節(jié)，零件加工過程和裝配前均要求進(jìn)行清洗，為了預(yù)防多余物殘留，在調(diào)試前需進(jìn)一步進(jìn)行高壓液流沖洗。
 
沖洗油路時，為了有效去除內(nèi)部殘留物需分別對帶有噴嘴、射流盤等微小結(jié)構(gòu)的底座和殼體進(jìn)行沖洗，并且采用正沖和反沖相結(jié)合的方式，所謂正沖即高壓油流經(jīng)油濾組件進(jìn)入噴嘴或射流盤兩腔，再經(jīng)伺服閥回油腔返回試驗臺回油；而反沖正好相反，試驗臺油液通過工裝進(jìn)入伺服閥的回油油路，反向進(jìn)入伺服閥噴嘴最后從測壓孔兩腔流出返回試驗臺回油。采用正沖和反沖方式?jīng)_洗油路有利于去除存在于噴嘴擋板間隙、射流盤射流口以及閥套均壓槽中的多余物。
前置級性能穩(wěn)定性篩選。

無論是噴嘴擋板式還是射流管式伺服閥，其前置級都是基于噴射射流的基本原理，形成射流流場。由于從噴嘴和射流管噴出的油液速度非常快，而流場的尺度又很小，因此該射流流場中常常伴隨有較強的剪切流動，甚至在某些特定的工況下，伺服閥會產(chǎn)生高頻的自激噪聲，并伴隨著強烈的壓力脈動[3]，前置級性能穩(wěn)定性直接影響伺服閥的壓力零漂、溫度零漂以及抖動等，為了保證伺服閥調(diào)試合格率，因而需要對前置級性能穩(wěn)定性進(jìn)行初步篩選，通過壓力對稱性篩選檢測射流盤的兩個接收腔的壓力對稱性和壓力穩(wěn)定性，如圖7所示，p1、p2為兩個接收腔的壓力。前置級篩選時，需要保證額定工作壓力范圍內(nèi)噴嘴或射流盤兩腔壓力差值滿足設(shè)計要求，并將壓力抖動幅度控制在一定范圍內(nèi)，避免工作時壓力脈動太大引起前置級不穩(wěn)定。

調(diào)整零位
伺服閥的零位由液壓零位、機(jī)械零位和電磁零位三個零位組成，零位*性好壞直接影響伺服閥的靜態(tài)特性和零區(qū)特性以及環(huán)境適應(yīng)性，也是后續(xù)調(diào)試的基礎(chǔ)與前提。三個零位的調(diào)整順序依次為液壓零位、機(jī)械零位、電磁零位。
 
液壓零位是指在工作壓力下伺服閥前置級左右兩腔控制壓力的對稱情況，調(diào)整液壓零位時應(yīng)避免反饋桿小球與閥芯之間無作用力，需要將反饋桿小球脫離閥芯，調(diào)整噴嘴或?qū)Я靼逦恢脮r應(yīng)緩慢施加作用力避免出現(xiàn)應(yīng)力集中。機(jī)械零位是指反饋桿在自由狀態(tài)下閥芯的位置，調(diào)試過程中通過微調(diào)底座安裝螺釘與螺釘孔之間的間隙達(dá)到調(diào)整機(jī)械零位的目的。電磁零位是指力矩馬達(dá)無電流信號輸入時，電磁回路使銜鐵偏轉(zhuǎn)為零，調(diào)整電磁零位時首先檢查力矩馬達(dá)四個氣隙基本均勻*，將磁鋼充磁至飽和程度再退磁至工作點附近，調(diào)整或修研調(diào)整墊片觀察氣隙厚度應(yīng)基本*，并保證力矩馬達(dá)4個安裝螺釘?shù)臄Q緊力矩盡量*避免應(yīng)力分布不均導(dǎo)致電磁零位發(fā)生變化。
 
為了消除和釋放零位調(diào)整過程中的內(nèi)部殘余應(yīng)力需要進(jìn)行時效處理，目前普遍采用熱時效和振動時效，熱時效存在能耗大、成本高、材料機(jī)械性能下降等弊端，振動時效又稱振動消除應(yīng)力法，將產(chǎn)品在其固有頻率下進(jìn)行數(shù)分鐘至數(shù)十分鐘的振動處理，消除其殘余應(yīng)力，使尺寸精度獲得穩(wěn)定的一種方法[4]。熱時效能消除50%～80%的內(nèi)部殘余應(yīng)力，振動時效能夠消除20%～80%，但振動時效所的消耗能源僅為熱時效的5%[5]。這種工藝耗能少、時間短、效果顯著，近年來在國內(nèi)外得到迅速發(fā)展，廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、航空、化工器械、動力機(jī)械等行業(yè)中。

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