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上海民儀電子有限公司

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DVS-321/631/DVT-300日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵

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  • 上海民儀電子有限公司
  • 2024-08-20 19:45:06
  • 上海市
  • 日本ULVAC
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【簡單介紹】

◇潔凈真空
由于無油、不會返流至泵內(nèi)，因此可以得到潔凈的真空。
◇低噪音、低振動
渦線管優(yōu)良的平衡性，降低了噪音和振動。

【詳細(xì)說明】

 

日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵特性
◇潔凈真空
由于無油、不會返流至泵內(nèi)，因此可以得到潔凈的真空。
◇低噪音、低振動
  渦線管優(yōu)良的平衡性，降低了噪音和振動。
◇無需日常換油
  由于不使用泵油，大幅減少了日常保養(yǎng)。
◇無需冷卻水
  由于是空冷構(gòu)造，安裝時真空泵只需接通電源就能工作，無需水冷管。
◇高效壓縮的渦線管節(jié)省了能源和運轉(zhuǎn)成本。
◇保養(yǎng)周期長
  為避免機械損耗，選用耐用材料，密封件確保能夠連續(xù)運轉(zhuǎn)。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵應(yīng)用
◇可用于半導(dǎo)體制造的負(fù)載鎖定室
◇電子顯微鏡的前級泵
◇干式真空的前級泵
◇真空干燥、冷凍干燥系統(tǒng)
◇排氣、真空注入系統(tǒng)
◇真空蒸溜、真空凝縮
◇測量器械
◇真空加固
◇真空涂層系統(tǒng)
◇電子杠桿工程、激光杠桿機

 

型 號

實際排氣速度（L/min.）

極限壓力

（Pa）

吸/排氣管徑

（mm）

重量

（kg）

外形尺寸

W×L×H（mm）

電機

極限蒸氣壓

（g/hr）

功率（W）

可選電壓（V）

※  DVS-321

265/320

（50/60Hz）

≤1.5（當(dāng)選購件孔徑D1.0≤3.0）

KF-25/KF-16

35

300×398×354

400

單相

100～115.200～230

≤2.0（當(dāng)選購件孔徑D1.0≤2.3）

DVS-631

525/630

（50/60Hz）

≤1.0（當(dāng)選購件孔徑D1.5≤2.5）

KF-40/KF-25

41

326×535×367

600

單相100/200.220

≤2.0（當(dāng)選購件孔徑D1.0≤2.3）

44

326×586×367

三相200

DVT-300

300

≤6.7

KF-25/KF-16

26

257×273×509

400

單相100.200

三相200

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