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除了我們眾多的標(biāo)準(zhǔn)低溫探針臺(tái)產(chǎn)品線外，Lake Shore還可以與您合作設(shè)計(jì)定制探針臺(tái)，以滿足您的特定實(shí)驗(yàn)要求。有關(guān)定制產(chǎn)品的一些示例，請(qǐng)參見(jiàn)下文。
聯(lián)系我們討論您的定制需求。
設(shè)備型號(hào)：
| 無(wú)液氦超導(dǎo)磁體探針臺(tái) | 定制液氦/液氮冷卻探針臺(tái) |
√ 3T或5T垂直磁場(chǎng) √ 2 K至420 K（最大磁場(chǎng)降低至室溫以上） √ 用于零場(chǎng)測(cè)量的可選6.5英寸直徑樣品座 √ 樣品階段的振動(dòng)小于1µm | √ 最多8個(gè)樣品 √ 高達(dá)3 kV電壓測(cè)試 √ ~3.5 K至475 K（675 K可選） √ 樣品臺(tái)處25 nm振動(dòng) |
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| 室溫真空探針臺(tái) | 微型可運(yùn)送樣品真空腔室 |
√ 300 K至500 K（675 K可選） √ 直徑2英寸的樣品座，帶標(biāo)準(zhǔn)探針臂和視覺(jué)選件 | Lake Shore還提供了一個(gè)微型、可運(yùn)送樣品的真空室，能夠在通過(guò)大氣環(huán)境運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中保持樣品處于真空狀態(tài)。真空室可用于在真空下將晶圓片/襯底從具有特殊環(huán)境的手套箱轉(zhuǎn)移到真空或低溫微操作探針臺(tái)（或轉(zhuǎn)移到真空室），并在測(cè)試、測(cè)量或準(zhǔn)備后返回手套箱。這種可運(yùn)輸?shù)恼婵帐以谘b載和卸載時(shí)保護(hù)晶片/基板免受大氣污染。
與普通的真空Load Lock不同，該真空室具有以下特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)： √ 典型尺寸為直徑50 mm、厚度25 mm寸 √ 無(wú)需閘板閥 √ 操作非常方便 √ 低成本 √ 在不增加低溫探針臺(tái)基礎(chǔ)溫度的情況下安裝可運(yùn)送樣品支架 |
