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全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針
——從此形貌探測(cè)無需激光
SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂，在AFM、納米、力測(cè)量等傳感應(yīng)用域都有全新的應(yīng)用。我們的多學(xué)科團(tuán)隊(duì)由物理、商業(yè)和金融、半導(dǎo)體和微電子學(xué)、電子工程和生物科學(xué)等域的家組成。除了我們自己的團(tuán)隊(duì)之外，我們還與著名高校：University of Tampere (UTA)，école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 許多的研究團(tuán)隊(duì)合作，密切接觸前沿研究和開發(fā)。
自感應(yīng)懸臂探針安裝了個(gè)全壓電電阻式的惠斯通電橋，兩個(gè)可變電阻在懸臂上，兩個(gè)在晶片上可以直接測(cè)量懸臂的信號(hào)，從而避免了光學(xué)技術(shù)對(duì)空間要求。這種懸臂式芯片被連接在個(gè)小的PCB上，帶有個(gè)小的連接器，用于快速和高度可重復(fù)的懸臂交換。傳感器信號(hào)是通過個(gè)小型的前置放大器PCB來讀出和放大的。這使得與各種儀器，如SEM，TEM和許多其他測(cè)量系統(tǒng)的簡單無縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數(shù)的要求。
SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加熱的懸臂AFM探針和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加熱的懸臂AFM探針。我們建議用塑料鑷子更換裸懸臂AFM探針，用鋼鑷子來更換固定在PCB板上的懸臂AFM探針。
常規(guī)自感應(yīng)懸臂梁探針（針尖材質(zhì)Si） Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip
| 左圖展示的是標(biāo)準(zhǔn)的SCL自感應(yīng)懸臂探針的*，*半徑小于15納米。正常情況下，懸臂探針會(huì)預(yù)安裝制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下側(cè)有個(gè)10pin的連接器。如果有殊要求，我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本，可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing) |
型號(hào)列表：
PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP
我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針（中頻為50 kHz或80 kHz），頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒有PCB板的裸探針時(shí)（PRSA-L300-CHP）時(shí)，使用的頻率范圍是未知的，因?yàn)檫@些參數(shù)不能在沒有電觸點(diǎn)的情況下測(cè)量。
 | 共同點(diǎn)Common | |
| 針尖銳度Silicon tip radius (rtip) | < 15 nm | |
| 長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 305 μm, w = 110 μm | |
| 靈敏度Sensitivity (s) | 1-2 μV/nm | |
| 應(yīng)用Applications | AFM, 納米探測(cè), 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測(cè). | |
| PRSA-L300-F50-Si-PCB | ||
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 30~65 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | k = 1~15 N/m | |
| PRSA-L300-F80-Si-PCB | ||
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | 65...95 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | 15...56 N/m |
PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP
| PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP | |
| 針尖銳度Silicon tip radius (rtip) | < 15 nm | |
| 長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 70...85 μm, w = 30 μm | |
| 靈敏度Sensitivity (s) | 3 μV/nm | |
| 應(yīng)用Applications | AFM, 納米探測(cè), 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測(cè). | |
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | 500...1300 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | 35...400 N/m |
自感應(yīng)懸臂梁（不含針）Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)
| 這是種殊類型的SCL的自感應(yīng)懸臂，沒有探針針尖，可將自己設(shè)計(jì)制造的針尖粘在其上或者直接粘上樣品，滿足個(gè)性化的需求。這種無探針的懸臂尤其適用于扭矩磁力儀、力感測(cè)力、氣體性測(cè)量，以及更多的應(yīng)用。正常情況下，懸臂探針會(huì)預(yù)安裝制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下側(cè)有個(gè)10pin的連接器。如果有殊要求，我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本，可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing) |
型號(hào)列表：
PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP
我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針（中頻為50 kHz或80 kHz），頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒有PCB板的裸探針時(shí)（PRSA-L300-CHP）時(shí)，使用的頻率范圍是未知的，因?yàn)檫@些參數(shù)無法在沒有電觸點(diǎn)的情況下測(cè)量。
 | 共同點(diǎn)Common | |
| 長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 300 μm, w = 110 | |
| 靈敏度Sensitivity (s) | 1-2 μV/nm | |
| 應(yīng)用Applications | 扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝 | |
| PRSA-L300-F50-TL-PCB | ||
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 30~65 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | k = 1~15 N/m | |
| PRSA-L300-F80-TL-PCB | ||
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | 65...95 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | 15...56 N/m |
PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP
| PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP | |
| 長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 100 μm, w = 48 μm | |
| 靈敏度Sensitivity (s) | 1...3 μV/nm | |
| 應(yīng)用Applications | 扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝 | |
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 250...550 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | k = 14...170 N/m |
PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP
| PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP | |
| 長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 450 μm, w = 100 μm | |
| 靈敏度Sensitivity (s) | 1...2 μV/nm | |
| 應(yīng)用Applications | 扭矩磁力儀，力感應(yīng)，氣體性，殊針尖的安裝 | |
| 共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 14...48 kHz | |
| 剛度Stiffness (k) | k = 0.5...24 N/m |
自感應(yīng)基礎(chǔ)套件（DYI*） Self-Sensing Starter-Kit
自感懸臂探針的每個(gè)應(yīng)用中沒有激光擾度探測(cè)，無法直接用于普通AFM設(shè)備里，需要我們提供的自感應(yīng)基礎(chǔ)套件。該基礎(chǔ)套件為您提供了所有基本但必要的配置，可以立即開始使用自感應(yīng)懸臂（探針）。自感應(yīng)基礎(chǔ)套件包含以下內(nèi)容：
? 低噪聲懸臂信號(hào)前置放大器（下圖-2)
? 連接前置放大器到懸臂和后加工設(shè)備（鎖定放大器，AFM控制器等）的電纜。(1 + 3)
? 10個(gè)自我感覺的懸臂（4)
