產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,航天,汽車,綜合 |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
作為奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡的廠家長期合作經(jīng)銷商,我們承諾所銷售的OLYMPUS奧林巴斯顯微鏡原廠產(chǎn)品,為客戶提供詳細(xì)專業(yè)的售前產(chǎn)品咨詢及選型,優(yōu)惠的產(chǎn)品價(jià)格及專業(yè)細(xì)致的售后產(chǎn)品安裝服務(wù)及維修服務(wù)!
奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡
通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實(shí)現(xiàn)精確測量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能STM7奧林巴斯測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。
STM7測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*消除,以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。
為了進(jìn)一步保證測量精度,采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達(dá)亞微米水平,同時(shí)確保更大程度地降低誤差。 |
花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測量的可靠性
作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
| 隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。 |
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
? 目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
? 由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測量。
[STM7解決方案]
共有四種*的正方形測量行程的載物臺(tái)可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡,無法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
可以通過安裝一個(gè)測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇更佳的觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。
金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場,偏光和微分干涉觀察。
手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦模式的選擇
包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列
對于Z軸的上下調(diào)焦,有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載
物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。
| 手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 |
| 使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。 |
一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
[常見問題]
? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無法高效率地進(jìn)行測量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無法高效率地進(jìn)行測量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對于STM7系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。
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控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以更大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
[常見問題]
? 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測量時(shí)的光強(qiáng)無法保持*,導(dǎo)致測量值也發(fā)
生變化。
? 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
| STM7測量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示,保證了能在始終*的照明條件下實(shí)施觀察。 |
物鏡切換時(shí),無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
值功能,可以為每個(gè)物鏡注冊照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次
切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作,現(xiàn)在就可以省略了。
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可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器,確保能隨時(shí)迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
[常見問題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測量結(jié)果時(shí),因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡單的實(shí)現(xiàn)對設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上,可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在適合位置。當(dāng)用戶站
著進(jìn)行測量時(shí),可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相
機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測量,或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí),只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)
行作業(yè)。
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高度測量:聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量
[[常見問題]
進(jìn)行目視測量時(shí),不同的操作者會(huì)測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時(shí),效率低下。
[STM7解決方案]
具有*的重復(fù)性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進(jìn)行高度測量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像,也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測量,因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
目視高度測量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
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自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量
[常見問題]
? 進(jìn)行目視測量時(shí),不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會(huì)不一樣。
? 手動(dòng)高度測量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái),使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測量既耗時(shí)又低效。
? 很難對微小的物體聚焦,比如引線。
[STM7解決方案]
快速、精準(zhǔn)的聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列的自動(dòng)聚焦單元,該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時(shí),保障了的對焦重復(fù)性。因此,無論操作
者的經(jīng)驗(yàn)如何,均可以在很短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測量。無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何,使用STM7自動(dòng)對焦單元均可
以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對焦,而小直徑的激光,也能保證對微小物體,比如引線的自動(dòng)對焦。
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單次對焦模式
執(zhí)行自動(dòng)聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對焦,即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下,也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察,從而很大地提高了Z軸的測量效率。
拓寬了測量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器
| 將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率 |
MM6-EMO正像單目鏡筒
| 正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。 |
STM7-FS腳踏開關(guān)
| 實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸,使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置
| 具有小型,輕便,使用壽命長,功耗低等特點(diǎn)。此外,這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置
| SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明,并提供具有較高色溫的清晰圖像??梢詮?/span>13種模式中選擇更佳的照明。 |
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對樣品的平行對齊。
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測量支持系統(tǒng)
即使對復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的測量
對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測量,奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。
STM7規(guī)格
| 小型手動(dòng)鏡架 | 小型電動(dòng)鏡架 | 中型手動(dòng)鏡架 | 中型電動(dòng)鏡架 | 大型手動(dòng)鏡架 | 大型鏡架 | ||
顯微鏡 |
| 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm | ||||
大的測量高度 | 120 mm(配備測量物鏡) | 90 mm(配備測量物鏡) | ||||||
Z軸測量分辨率 | 0.1 μm | |||||||
Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng): | 手動(dòng)同軸 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng): | 手動(dòng)同軸 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng): | ||
照明 | LED照明 | 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明 | ||||||
鏡筒 | 正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100) | |||||||
物鏡 | 測量顯微鏡用 | MM6-OB系列 | ||||||
金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 | |||||||
目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) | |||||||
載物臺(tái) | 測量范圍 | STM7-CS50: | STM7-CS200: | STM7-CS300: | ||||
測量精確度 | STM7-CS50: (3+L/50) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm | |||||
精確度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg | 10 kg | 15 kg | |||||
計(jì)數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 | ||||||
單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||||||
小分辨率 | 0.1 μm | |||||||
外形尺寸(寬×長×高)(mm) | 466 x 583 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 | ||
重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg | ||
額定功率 | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
物鏡 | |||||||||
測量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - | |
金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場 | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
LMPLFLN系列 | 長工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
MPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
LMPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 |