實驗室電子薄膜應力分布測試儀 型號：BGS-6341

該產品主要應用在微電子、光電子生產線上和科研、教學等域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出場面型分布結果, 適合于微電子生產線上產量的快速檢驗和微電子生產藝研究。

實驗室電子薄膜應力分布測試儀儀器基于干涉計量的場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置, 及時淘汰早期失效產品。

錯位相移術

計算機自動條紋處理

測試過程自動

的曲面補償測試原理

大樣品尺寸≤100mm (4英寸)

曲率范圍|R|≥5米

測試度5%

單片測量時間3分鐘/片

結果類型面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格

圖形顯示能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示

電源AC 220V±10%, 50Hz±5%

大耗100W

外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm

重量36kg

本公司主營 不銹鋼采水器，罐底焊縫真空檢測盒，讀數(shù)儀，八級空氣微生物采樣器，，雙波長掃描儀，涂層測厚儀，土壤粉碎機，鋼化玻璃表面平整度測試儀，腐蝕率儀，凝固點測試儀，水質檢測儀，涂層測厚儀，涂層測厚儀，土壤粉碎機，數(shù)顯式溫度計，氣體采樣泵，陶瓷抗沖擊試驗機，自動結晶點測試儀，藥物凝固點測試儀，干簧管測試儀，恒溫水浴箱，汽油根轉，氣體采樣泵，鋼化玻璃測試儀，水質檢測儀，PM2.5測試儀，應變控制三軸儀，牛奶體細胞檢測儀，氦氣濃度檢測儀，土壤水分電導率測試儀，場強儀，采集箱，透色比測定儀，毛細吸水時間測定儀，氧化還原電位計 測振儀，氧化碳二氧化碳檢測儀，CO2分析儀，示波譜儀，黏泥含量測試儀，汽車啟動電源，自動電位滴定儀，便攜式測溫儀，氧化鋯分析儀，干簧管測試儀，密電導率儀，TOC水質分析儀，微電腦可塑性測定儀，風向站，自動點樣儀，土壤氧化還原電位計，數(shù)字測溫儀，便攜式總磷測試儀，腐蝕率儀，恒溫水浴箱，余氯檢測儀，自由膨脹率儀，離心杯，混凝土飽和蒸汽壓裝置，顆粒強度測試儀，斯計，自動涂膜機，氣象站，動覺方位儀，氣味采集器，雨量計，四合氣體分析儀，乳化液濃度計，溶解氧儀，溫度測量儀，薄層鋪板器，溫度記錄儀，老化儀，噪音檢測儀，恒溫恒濕箱，分體電阻率測試儀，初粘性和持粘性測試儀，紅外二氧化碳分析儀，氫燈，動覺方位儀，冷卻風機，油脂酸價檢測儀，粘數(shù)測定儀，菌落計數(shù)器，氣象站，雨量計，凱氏定氮儀，熒光增白劑，啤酒泡沫檢測儀，發(fā)氣性測試儀，低頻信號發(fā)生器，油液質量檢測儀，計數(shù)器，漏電流測試儀，標準測力儀，毛細吸水時間測定儀，污泥比組測試儀，大氣采樣器，流速儀，繼電器保護測試儀，體積電阻率測試儀，側面光檢測儀，照度計，體化蒸餾儀，涂布機，恒溫加熱器，老化儀，煙氣分析儀 公司秉承“顧客至上，銳意取"的經營理念，堅持“客戶至上"的原則為廣大客戶提供優(yōu)質的服務。歡迎惠顧!