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P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這...
自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力2D和3D測量,掃描可達200mm無需圖像拼接。結合UltraLite®...
P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D...
KLA先進的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,帶有電動載物臺??蓽y量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5....
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