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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
一、用途： TGP-40C大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡是適用于對(duì)太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中*的檢測儀器之一
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
| 類 別 | 放大倍數(shù) | 視場（mm） |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離（mm） |
| 物鏡 | 4X | 0.10 | 18.3 |
| 10X | 0.25 | 8.9 | |
| PC20X | 0.40 | 8.7 | |
| PC40X | 0.65 | 3.7 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X -- 500X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：（配有快速移動(dòng)裝置）
尺寸：400*300mm 移動(dòng)范圍：254*254mm[標(biāo)配]
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：（配有快速移動(dòng)裝置）
尺寸：400*300mm 移動(dòng)范圍：254*254mm[標(biāo)配]
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):日本專業(yè)進(jìn)口攝像頭或500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭
三、系統(tǒng)組成
大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡（TGP-40C）: 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、進(jìn)口專業(yè)攝像頭 4、計(jì)算機(jī)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡（TGP-40C）：50--4000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片測量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X（帶刻度