Nanocalc系列膜厚測量儀的原理：

利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc-2000用一個(gè)寬光譜的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和消光系數(shù)k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc-2000根據(jù)這一特性來進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性。

Nanocalc系列膜厚測量儀的特點(diǎn)：

• UV/VIS/NIR高分辨率的配置
• 測量準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm
• 可測量4層薄膜的任意3層
• 薄膜測量zui小可至10nm，zui大可至400um
• 可測量zui小1nm厚的透明金屬層
• 提供用于復(fù)雜外形材料測量的試驗(yàn)臺(tái)及附件
• 對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
• 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫，保證各種材料的精確測量

NanoCalc-2000-UV/VIS/NIR膜厚測量儀的技術(shù)參數(shù)：