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背散射電子圖像分辨率	5nm	二次電子圖象分辨率	5nmnm
放大倍數(shù)	10萬倍x	加速電壓	30kVkV
價(jià)格區(qū)間	50萬-100萬	儀器種類	場(chǎng)發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),印刷包裝,綜合

品牌介紹

賽可(SEC)公司是專門從事開發(fā)生產(chǎn)掃描電子顯微鏡（SEM）與X-RAY檢測(cè)設(shè)備的企業(yè)。自1991年創(chuàng)立以來，經(jīng)過20多年的不懈努力與技術(shù)積累，已成為韓國的檢測(cè)設(shè)備研發(fā)制造公司。此外，核心零件的本土化與新技術(shù)的不斷開發(fā)也使得SEC具備了與世界大型企業(yè)相抗衡的競(jìng)爭(zhēng)力，成為制造業(yè)的者。

賽可生產(chǎn)研制的桌面型臺(tái)式掃描電鏡Mini-SEM不僅具備傳統(tǒng)SEM的分析功能及高分辨率等性能，更以其便捷的操作性、人性化的設(shè)計(jì)以及合理的價(jià)格，被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、工業(yè)制造、化學(xué)化工、電子工業(yè)、環(huán)境科學(xué)、考古及司法鑒定等領(lǐng)域。賽可臺(tái)式掃描電鏡分為SNE-3000與SNE-4000兩個(gè)系列，可充分滿足使用者不同層次的分析需求。

韓國SEC SNE-4500M型高分辨臺(tái)式掃描電鏡-儀器配置

	型號(hào)	參數(shù)
SEM basic	SNE-4500M	分辨率：5nm，放大倍數(shù)：100,000倍，探測(cè)器：二次電子（SE），電壓：1到30kv，樣品臺(tái)：X,Y,R,Z,T五軸/手動(dòng)控制，真空：高
	含	臺(tái)式電腦（或筆記本電腦）/因特爾處理器，硬盤：500GB，RAM緩存:4GB
		顯示器（21.5英寸）
		機(jī)械泵（裝配；軟管）；SEM備用零件（燈絲，試件臺(tái)，夾具，扳手……）Cable; Connecting 連接電纜
	SEM Additional accessories	背散射探測(cè)器，類型：固態(tài)4通道
		自動(dòng)軸控制 -Type: X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);類型：X,Y,R(3軸)/DC型(標(biāo)配)
EDS System EDS系統(tǒng)	element	分辨率：129 電子伏 / 元素范圍：從B 到Am, 反應(yīng)區(qū)域：25mm2, C系列Si3N4窗口，軟件：TEAM（頻譜分析，圖像，多點(diǎn)，線掃描，數(shù)據(jù)記錄）

圖1 SNE-4500M型掃描電鏡

技術(shù)參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)	分辨率	5nm (30kV, 二次電子成像)
	放大倍率	20x~100,000x
	加速電壓	1~30kV (1/5/10/15/20/30)
	探測(cè)器	二次電子探測(cè)器（SE）
	電子槍	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
載臺(tái)系統(tǒng)	載臺(tái)運(yùn)動(dòng)	5軸系統(tǒng) (X, Y, R, Z, T -手動(dòng))
		X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360°
		Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45°
		* 影像偏移 : ±150μm
	大樣品尺寸	80mm（Φ）*35mm（H）
成像系統(tǒng)	自動(dòng)功能	自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消像散，自動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)比與亮度
成像系統(tǒng)	圖像格式	BMP, JPEG, PNG, TIFF
真空系統(tǒng)	真空模式	高真空（低真空可選）
真空系統(tǒng)	真空泵	旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵（全自動(dòng)）
尺寸與重量	主機(jī)	390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg
	控制單元	390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg
	旋轉(zhuǎn)泵	400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg

EDS(elment）介紹

EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對(duì)樣品表面進(jìn)行成分分析的設(shè)備。電子束轟擊樣品表面后，可產(chǎn)生多種信號(hào)，EDS探測(cè)器通過檢測(cè)其中的特征X-Ray，進(jìn)行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式，進(jìn)行點(diǎn)、線、面等多區(qū)域多樣的表面成分分析，并生成不同格式的結(jié)果報(bào)告。賽可所有電鏡型號(hào)都可以裝載EDS探測(cè)器，其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能，且不需液氮，操作快速、簡便。

(a) 定性定量分析

提供快速精準(zhǔn)的定性及定量分析結(jié)果，面，點(diǎn)等多領(lǐng)域多樣的表面成分分析，如圖2。

- 自動(dòng)分離重疊峰值, 提供高信頼性結(jié)果。