MFC330-05S 氣體質(zhì)量流量控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330-05S 氣體質(zhì)量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。