MFC330-05E 氣體質量流量控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號 MFC330-05E
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/19 15:47:53
- 訪問次數 43
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
應用領域 | 綜合 |
MFC330-05E氣體質量流量控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330-05E氣體質量流量控制器依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
MFC330工作原理:
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
主要參數:
介質要求
潔凈干燥氣體
氣體種類
98+氣體可選
量程
0-2,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍
0.5%F.S.(1:200)
控制范圍
1%-100% FS.(1:100)
準確度
標準:±1% F.S.
高精度
±0.5%
重復精度
±0.2%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
控制響應時間
<3 秒
預熱時間
5 min(T95),30 分鐘最佳
閥門
常閉式
泄漏率
1*10-11Pa.m3/sec He
機械特性
最大工作壓力
3 MPa(30bar)
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
-20~65℃(環(huán)境和氣體)
溫度范圍
0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型
卡套、VCR、快插、快擰(可選)
氣體接觸材質
氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質
氟橡膠 FKM
防護等級
IP40
安裝方式
水平安裝方向校準
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.96kg
電氣和通訊
電氣連接接口類型
DB-9 公頭
模擬信號
0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ
模擬數據更新頻率
200Hz
數字信號
Modbus RTU (RS232, RS485), CAN
通信速率
9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(用戶可修改)
電源
15-40 VDC,<200 mA
顯示更新頻率
50Hz
模擬信號精度
±0.05%F.S.
特征
標況
20℃,1 atm
氣體選擇
可選,具體參考說明書氣體系數
軟件
Aitoly分階流量軟件
尺寸:
滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
100 sccm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1.3 kg |
5.43 in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.393 | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.88 lb |
產品選型: