MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌 愛(ài)拓利
- 型號(hào) MFC300-03D
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/17 20:35:10
- 訪問(wèn)次數(shù) 45
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無(wú)需預(yù)熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數(shù)
- 介質(zhì)要求潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
- 氣體種類Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
- 量程0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
- 測(cè)量和控制范圍0.2%-100%F.S. （1:500）
- 準(zhǔn)確度±0.5%F.S.
- 重復(fù)精度±0.5%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
- 傳感器響應(yīng)時(shí)間5ms
- 控制響應(yīng)時(shí)間300ms
- 預(yù)熱時(shí)間≤1s
- 閥門常閉式
- 泄漏率1*10-11Pa.m3/sec He
機(jī)械特性
- 最大工作壓力1.1 MPa（11bar）
- 工作壓差范圍0-1 MPa
- 工作溫度范圍0-65℃（環(huán)境和氣體）
- 溫度范圍0 - 98%無(wú)凝露
- 氣路接頭類型快插、快擰、卡套、VCR（可選）
- 氣體接觸材質(zhì)氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
- 密封材質(zhì)氟橡膠 FKM
- 防護(hù)等級(jí)IP40
- 安裝方式任意方向安裝
- 固定孔M4 ↓ 5mm
- 重量0.38kg
電氣和通訊
- 電氣連接接口類型DB-9 male
- 輸入輸出阻抗輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<600Ω
- 數(shù)字信號(hào)Modbus RTU（RS232，RS485），CAN
- 量程0-2，10，20，30，100，300，500sccm
0-1，2，5，10，20，30slpm - 通信速率9600（默認(rèn)），14400，19200，38400 bps（用戶可修改）
- 電源15-40 VDC，100 mA
特征
- 標(biāo)況20℃，1 atm
- 氣體選擇可選，具體參考說(shuō)明書(shū)氣體系數(shù)
- 軟件Aitoly分階流量軟件
尺寸
| 滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 5 sccm~5 slpm | 66.20 mm | 51.00 mm | 39.00 mm | 43.70 mm | 27.40 mm | 4.30 mm | 5.80 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.38 kg |
| 2.606 in | 2.008 in | 1.535 in | 1.720 in | 1.079 in | 0.169 in | 0.228 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈0.84 lb |
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