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CY-CVD1200-50 1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)
參考價(jià) | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-CVD1200-50
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/16 11:22:06
- 訪問(wèn)次數(shù) 14
1200℃三溫區(qū)3路高真空CVD系統(tǒng)三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)3路質(zhì)量流量計(jì)高真空CVD系統(tǒng)高真空CVD系統(tǒng)CVD系統(tǒng)
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,電子,冶金,航天 |
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簡(jiǎn)單介紹:
1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過(guò)調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。
詳情介紹:
1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì),精度高可靠性強(qiáng),可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達(dá)到1.0E-3pa真空度,較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q | ||
爐管材質(zhì) | 高純石英 | |||
爐管直徑 | 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) | |||
爐管長(zhǎng)度 | 1300mm | |||
爐膛長(zhǎng)度 | 1060mm | |||
加熱區(qū)長(zhǎng) | 300mm+300mm+300mm | |||
工作溫度 | 0~1100℃ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |||
顯示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-3Z | ||
氣體通道 | 3通道 | |||
測(cè)量部件 | 氣體質(zhì)量流量計(jì) | |||
測(cè)量量程 | A通道:0~100SCCM H2氣 | 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 | ||
B通道:0~300SCCM N2氣 | ||||
C通道:0~500SCCM Ar氣 | ||||
測(cè)量精度 | ±1.0%F.S | |||
管道耐壓 | 3MPa | |||
工作壓差 | 50~300KPa | |||
連接管道 | 304不銹鋼 | |||
控制閥門(mén) | 304不銹鋼針閥 | |||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
排 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前極泵 | 旋片泵 | |||
抽氣速率 | 分子泵:600L/S | 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá):1.0E-3Pa | ||
旋片泵:1.1L/S | ||||
抽氣接口 | KF40 | |||
排氣接口 | KF16 | |||
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì):電阻規(guī)+電離規(guī) | |||
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
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