化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備>NE-5700/NE-7800 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
NE-5700/NE-7800 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 NE-5700/NE-7800
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 14:24:33
- 訪問次數(shù) 68
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
批量生產(chǎn)的干法刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800
適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設(shè)備是一款可擴(kuò)展的刻蝕設(shè)備，支持從一個腔室到多個腔室，強(qiáng)調(diào)性價(jià)比。
特征
除1個腔體外，還可配備磁場ICP（ISM）、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體，兼容多種刻蝕工藝。
配備星形電極和各種溫度控制功能，可實(shí)現(xiàn)過程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。
易于維護(hù)的結(jié)構(gòu)，停機(jī)時間最短，全面的備份系統(tǒng)，包括再生清潔、零件供應(yīng)、維護(hù)和培訓(xùn)服務(wù)。
半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。
目的
化合物（LED、LD、高頻器件）和功率器件（IGBT 布線加工、SiC 加工）。
用于金屬布線、層間絕緣膜（樹脂類）、柵電極加工工序。
用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。
用于加工磁性材料。
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