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等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

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公司主要銷售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、散熱材料、增材制造設(shè)備、電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品、通訊器材、機(jī)械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機(jī)械配件、非標(biāo)自動化設(shè)備、五金工具、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險化學(xué)品)、激光儀器及輔助設(shè)備;

電氣設(shè)備、信息系統(tǒng)設(shè)計、集成;工程管理服務(wù);單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測服務(wù);

計算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備、信息系統(tǒng)軟件、非標(biāo)自動化設(shè)備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機(jī)械設(shè)備、監(jiān)控設(shè)備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營;依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊是由深圳大學(xué)從事材料,光學(xué),生物團(tuán)隊組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區(qū),可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),南方科技大學(xué),深圳大學(xué),深圳技術(shù)大學(xué),北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,大灣區(qū)大學(xué)(籌),東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),暨南大學(xué),華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射

v 應(yīng)用方向:高質(zhì)量PECVD沉積氮化硅和二氧化硅,用于光子學(xué)、電介質(zhì)層、鈍化以及諸多其它用途;用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模沉積和刻蝕

v 電阻絲加熱電極,溫度可達(dá)400°C1200°C

v 實(shí)時監(jiān)測清洗工藝, 并且可自動停止工藝

v 晶圓可達(dá)200mm,可快速更換硬件以適用于不同尺寸的晶圓

v 高導(dǎo)通的徑向(軸對稱)抽氣結(jié)構(gòu):確保提升了工藝均勻性和速率

v 增加了<500毫秒的數(shù)據(jù)記錄功能:可追溯腔室和工藝條件的歷史記錄

v 通過前端軟件進(jìn)行設(shè)備故障診斷,故障診斷速度快

v 用干涉法進(jìn)行激光終點(diǎn)監(jiān)測:在透明材料的反射面上測量刻蝕深度 (例如硅上的氧化物),或者用反射法來確定非透明材料 (如金屬) 的邊界

v 用發(fā)射光譜(OES)實(shí)現(xiàn)較大樣品或批量工藝的終點(diǎn)監(jiān)測:監(jiān)測刻蝕副產(chǎn)物或反應(yīng)氣體的消耗量的變化,以及用于腔室清洗的終點(diǎn)監(jiān)測




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