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SEC-Z514MGX/Z524MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計
- 公司名稱 上海進佳科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 SEC-Z514MGX/Z524MGX
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/12/9 14:30:52
- 訪問次數(shù) 301
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣 |
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/SEC-Z524/SEC-Z534
暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
氣體質(zhì)量流量計又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設(shè)定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。
大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，保證全新進口，終身維修。
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX產(chǎn)品特點：
1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現(xiàn)場設(shè)定；
2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；
3)快速響應(yīng)：<1秒(全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點)；
4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作；
5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；
6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容；
7)可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 | ||||
| 型號*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
| SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
| 全標(biāo)準(zhǔn)流量 | 1/2SCCM | 10-50SLM | ||
| (N2轉(zhuǎn)換流量) | 10SCCM-10SLPM | |||
| 閥門類型 | O：通常打開 C：通常關(guān)閉 | |||
| 關(guān)閉控制閥時的流量 | ≤2% F.S. | |||
| 流量測量范圍 | 0-100% of F.S. | |||
| 精確性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
| ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作溫度 | 5-50°C(建議溫度范圍：15-45°C) | |||
| 響應(yīng) | ≤1秒:超過全流量范圍 | |||
| 直線性 | ≤±0.5% F.S. | |||
| 反復(fù)性 | ≤±0.2% F.S. | |||
| 工作壓差值 | ≤300kPa(d) | |||
| zui大工作壓力 | 450kPa(g) | |||
| 耐壓 | 1000kPa(g) | |||
| 外部泄漏率 | ≤5x10-12 Pa·m3/s(He) | |||
| 流量設(shè)定信號 | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.)；輸入阻抗1MΩ或更高 | |||
| 流量輸出信號 | 0 -5 V DC (0% - F.S.)；zui小負荷阻力2kΩ或更高 | |||
| 數(shù)字界面 | 地址功能: RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps) | |||
| F-Net 協(xié)議,DevceNet | ||||
| 接液部材質(zhì) | 316L 不銹鋼(表面拋光) | |||
| 電源 | +15V±5% 150mA | |||
| -15V±5% 150mA | ||||
| 信號反應(yīng) | 模擬: D-Sub 9-pin (TOP) | |||
| 數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP) | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
| 選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可選1.125 inch IGS | |||
| 安裝方向 | 自由 | |||
*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS：完整氣體系統(tǒng)。
*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)
訂購注意：
請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。
如是設(shè)備備件的更換，請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。
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