Wintech ICP-200 微蕓電感耦合等離子體刻蝕機
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海微蕓半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號Wintech ICP-200
- 所在地上海市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2024/9/29 15:38:13
- 訪問次數(shù) 76
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上海微蕓半導(dǎo)體科技有限公司生產(chǎn)的電感耦合等離子體干法刻蝕機（ICP）是一款針對工藝節(jié)點與生產(chǎn)線各種關(guān)鍵應(yīng)用的大規(guī)模量產(chǎn)型設(shè)備，其性能亦可在各大高校及科研機構(gòu)展示其科研屬性。
設(shè)備8英寸向下兼容，適用于各種刻蝕需求，具備優(yōu)異的刻蝕均勻性和快速刻蝕速率，確保了高效、精確的刻蝕工藝結(jié)果。同時，高選擇比和高各向異性使刻蝕過程更為精準(zhǔn)，減少損傷。專業(yè)的機械設(shè)計與優(yōu)化的操作軟件使該設(shè)備操作簡便、安全，且工藝穩(wěn)定、重復(fù)性、均勻性佳。此外，高斷面輪廓可控性保證了刻蝕表面的平整光滑。該系統(tǒng)可以根據(jù)客戶要求選擇氣體種類進(jìn)行配置。
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