Pishow® D 系列 8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

深硅刻蝕

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕（ICP-DSE）設(shè)備

1. 詳細(xì)介紹

Pishow® D 系列深刻蝕設(shè)備，是針對(duì)8英寸~6英寸產(chǎn)線或科研深硅刻蝕工藝的用設(shè)備，擁有自主開(kāi)發(fā)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，保證了優(yōu)異的刻蝕精度控制和損傷控制。
提供Si Bosch工藝的解決方案。

該設(shè)備高性?xún)r(jià)比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率，可幫助不同客戶實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能升。

2. 系統(tǒng)特性

Pishow® D 系列是采用深硅刻蝕技術(shù)的電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備

提供Bosch解決方案，實(shí)現(xiàn)對(duì)Si的高深寬比刻蝕

優(yōu)化的氣柜設(shè)計(jì)，縮短進(jìn)氣距離，短工藝切換時(shí)間小于1.0

Pishow® D 系列可選擇8~4英寸晶圓，提供單腔式和多腔式等多種腔室搭配方式