PICOSUN R-200 高級(jí)型ALD系統(tǒng)
- 公司名稱 北京盈思拓科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) PICOSUN R-200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/18 15:50:00
- 訪問次數(shù) 167
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PICOSUN™ R-200高級(jí)型ALD系統(tǒng)是ALD科研設(shè)備市場(chǎng)的,在擁有百用戶。它已經(jīng)成為一些創(chuàng)新公司和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)工具。
靈活的設(shè)計(jì)確保沉積高質(zhì)量的ALD薄膜,超靈活的系統(tǒng)配置也能滿足用戶未來的需求和應(yīng)用。的熱壁設(shè)計(jì)、獨(dú)立的前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計(jì),使得無顆粒沉積廣泛應(yīng)用于平面晶圓、3D基片和所有納米尺度的材料。即使在挑戰(zhàn)性的多孔材料、超高深寬比和納米顆粒表面沉積,系統(tǒng)都能實(shí)現(xiàn)的均勻性,這些都?xì)w功于我們的技術(shù)Picoflow™。Picosun™R-200高級(jí)型系統(tǒng)配備功能強(qiáng)大和易于更換的液體、氣體和固體前驅(qū)體源。高效率和擁有的遠(yuǎn)程等離子選項(xiàng)可以沉積金屬而不發(fā)生短路,不存在等離子體損壞的危險(xiǎn)。系統(tǒng)可集成手套箱,超高真空系統(tǒng)、手動(dòng)或半自動(dòng)加載系統(tǒng),集群系統(tǒng),粉末反應(yīng)腔,卷對(duì)卷反應(yīng)腔和各種在線分析系統(tǒng),使您的研究變得高效和靈活。即使將來您改變研究領(lǐng)域,它依就會(huì)是您幫手!