化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>其它晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備> 晶圓缺陷參數(shù)檢測(cè) : 非接觸測(cè)試解決方案
晶圓缺陷參數(shù)檢測(cè) : 非接觸測(cè)試解決方案
- 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/7/11 16:47:25
- 訪問次數(shù) 559
聯(lián)系方式:市場(chǎng)部13810146393 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
光譜儀,拉曼光譜,熒光光譜,太陽能電池檢測(cè),位移臺(tái),滑臺(tái),光學(xué)調(diào)整架,電動(dòng)滑臺(tái),光學(xué)平臺(tái),光學(xué)元件
全晶圓半導(dǎo)體參數(shù)非接觸測(cè)試解決方案
Full-wafer Noncontac Measuring Solutions forSemiconductor Parameters
基于我公司自主研發(fā)的激光自動(dòng)聚焦、自動(dòng)化顯微成像、寬場(chǎng)熒光成像、共焦光致發(fā)光光譜和共焦拉曼光譜等核心測(cè)試技術(shù)和模組,聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測(cè)量技術(shù),根據(jù)客戶的需求靈活組合相應(yīng)的技術(shù)搭配,為客戶開發(fā)定制化的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試解決方案,獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù),到位錯(cuò)、層錯(cuò)等缺陷,再到發(fā)光波長(zhǎng)、壽命、載流子濃度、組分和應(yīng)力等物理參數(shù)的綜合測(cè)量,實(shí)現(xiàn)無需任何前處理的全晶圓無損自動(dòng)化檢測(cè)。