半導(dǎo)體缺陷檢測:自動化顯微成像模組
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/7/4 10:13:24
- 訪問次數(shù) 542
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
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半導(dǎo)體缺陷檢測:自動化顯微成像模組
針對半導(dǎo)體集成電路工藝線從表面缺陷檢查到圖形尺寸測量等各環(huán)節(jié)自動化視覺檢測需求。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù):
激光自動聚焦:
·自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
·可在無圖案晶圓上實(shí)現(xiàn)精確自動聚焦和表面跟蹤。
·輔以圖形邊緣識別,實(shí)現(xiàn)雙模式自動調(diào)焦。
明場成像和照明系統(tǒng):
·自主研制的小型化科勒照明系統(tǒng)。
·照明視場均勻、無暗角,成像視場中心和邊角均有高對比度和解析度。
全自動操作:
·全軟件控制,自動調(diào)焦、尋區(qū)、切換物鏡……
供應(yīng)鏈國產(chǎn)可控。
性能參數(shù):
激光自動聚焦
顯微成像
不同倍數(shù)物鏡下典型成像效果