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HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 氣相沉積系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號 HORIC L200 系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/5 17:43:28
- 訪問次數(shù) 329
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 氣相沉積系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機臺裝機量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案.優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。
2. 設(shè)備用途/原理
HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機臺裝機量大。可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。高可靠性、穩(wěn)定性 Higher reliability and stability。安全性能高：設(shè)備及所使用的元件符合國標(biāo)和國際標(biāo)準(zhǔn)。可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案。優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 4、6、8 英寸，適用材料硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝 氮化硅、氧化硅、多晶硅、摻雜多晶硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。
采購中心
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