德國SPS-POLOS旋涂機SPIN200i為小批量生產(chǎn)而設計

POLOS 為半導體、生命科學、食品、實驗室和制藥行業(yè)提供高設備，特別是為大學、研發(fā)機構(gòu)和小型生產(chǎn)設施提供支持。我們的產(chǎn)品組合包括用戶友好和高度耐用的系統(tǒng)，主要應用于光刻和配置工藝領(lǐng)域。POLOS 公司成立于 2003 年，第一條產(chǎn)品線是單晶片旋轉(zhuǎn)涂層系統(tǒng)。

主要產(chǎn)品：

SPS-POLOS旋涂機

SPS-POLOS勻膠機

SPS-POLOS光刻機

SPS-POLOS Spin200i旋涂機

POLOS Spin200i 是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機，由 PTFE 或 NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。臺式型號可手動或自動（可選）分配化學品。

適用于鍍膜、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

適用于最大 8 英寸（200 毫米）晶圓

適用于最大 6 英寸 x 6 英寸（150 毫米）基板

材料 天然聚丙烯 (NPP)

12.000 RPM（取決于基底/卡盤）

高加速度和高精度

手動化學品分配

CW 和 CCW 旋轉(zhuǎn)

帶可定制圖標的彩色觸摸屏

USB 端口

型號示例：

SPS-POLOS旋涂機SPIN150X

SPS-POLOS旋涂機SPIN200i

SPS-POLOS旋涂機SPIN4000A

SPS-POLOS旋涂機SPIN5000A

德國SPS-POLOS旋涂機SPIN200i為小批量生產(chǎn)而設計