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FR-Ultra 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 ThetaMetrisis
- 型號(hào) FR-Ultra
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 15:19:31
- 訪問(wèn)次數(shù) 957
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FR-Ultra: 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備,專門用于快速、準(zhǔn)確和無(wú)損測(cè)量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。
FR-Ultra是用于精確測(cè)量由半導(dǎo)體和(或)介電材料制成的厚層和超厚層的專用工具。由于其先進(jìn)的光學(xué)性能,FR-Ultra可用于測(cè)量不同平滑度的薄膜和非常厚的襯底。
典型應(yīng)用包括:
厚玻璃的厚度測(cè)量(在清晰度不同的情況下最大厚度可達(dá)2mm); 晶圓片的厚度測(cè)量(如單面或雙面拋光晶圓,最大直徑可達(dá)12 英寸)。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合,用于大面積的厚度測(cè)量。
硅片厚度圖(12英寸硅片)
測(cè)量原理
白光反射光譜(WLRS)測(cè)量在一定光譜范圍內(nèi)從單或多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu)的 反射光,其中入射光垂直于樣品表面。藉由測(cè)量各個(gè)界面干涉產(chǎn)生的反射光 譜來(lái)計(jì)算單層/疊層薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)(n 和k)等。並支持透明或部分反射基材等。
*規(guī)格如有更改,恕不另行通知;
**100μm DSP硅片的測(cè)量值對(duì)應(yīng)于測(cè)量厚度值在精度范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)(0.4%);
***500μm DSP硅片的測(cè)量值對(duì)應(yīng)于測(cè)量厚度值在精度范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)(0.4%)