Agilent 4155B半導(dǎo)體測(cè)試儀安捷倫

Agilent 4155B半導(dǎo)體測(cè)試儀安捷倫

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深圳佳捷倫電子儀器有限公司

聯(lián)系：陳娟158=1556=6786

地址：深圳市龍崗區(qū)平新北路163號(hào)廣弘星座B棟12樓

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是新一代精密半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀。它擁有優(yōu)秀的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀，

可靠的測(cè)試儀，強(qiáng)有力的故障，分析工具，自動(dòng)檢查設(shè)施；幸免綜合至同參儀器中。

新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)目標(biāo)清楚地瞄準(zhǔn)為亞微米幾何尺寸器件評(píng)估提供前所未見的精度。

它是一種可靈活使用的儀器，無疑對(duì)從材料評(píng)價(jià)至器件性牟的表征，乃至后封裝等各

個(gè)階段的部分檢查和現(xiàn)場(chǎng)故障分析可提供諸多應(yīng)用，以改進(jìn)半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。

正確方案的抉擇

Agilent 4155B設(shè)有四個(gè)內(nèi)置源/監(jiān)測(cè)單元（SMU），兩個(gè)電壓單元（VSU）

，兩個(gè)電壓監(jiān)測(cè)單元（VMU），對(duì)于具有非開氏連接的基本半導(dǎo)體連接，

4155B可謂是優(yōu)秀選擇，分辨為10fA/1μV測(cè)量范圍為100mA/100V。

任何時(shí)候，均可增添41501B SMU和脈沖發(fā)生器擴(kuò)展器。它由0V/1.6A接地單元饋送

可擴(kuò)展接收兩100mA/100V SMU或一個(gè)1A/200V SMU和兩上同步40V/1μs脈沖發(fā)生器。

設(shè)定和測(cè)量

Agilent 4155B可使用許多測(cè)量單元，包括Agilent 41501B做階梯，脈沖掃描測(cè)量，

采樣（時(shí)域）測(cè)量，而無需變動(dòng)連接。進(jìn)而，對(duì)于可靠性評(píng)估還可做應(yīng)力循環(huán)測(cè)量，

例如熱載流子的注入和快速EEPROM測(cè)評(píng)。

可通過前面板鍵，鍵盤，或GPIB（SCPI命令）多種途徑通過設(shè)置頁面和添入空格進(jìn)行

設(shè)定和測(cè)量，還可通過鈕掃描功能進(jìn)行短暫測(cè)量和查尋設(shè)定一類似于曲線描圖儀。

顯示和分析測(cè)量和分析結(jié)果顯示在彩色的LCD上，可由4個(gè)圖形存貯器做存貯器做存貯，

以便分析。比較。強(qiáng)有力的分析手段，使得很容易對(duì)諸如hFE,Vth等多種參數(shù)進(jìn)行抽取。

一旦查得參數(shù)抽取條件，則可通過-自動(dòng)分析功能自動(dòng)地取得。輸出和存貯

設(shè)定、測(cè)量，分析數(shù)據(jù)均可由GPIB，燕行或網(wǎng)絡(luò)接口10Base-T LAN輸出至彩色繪圖儀和打印機(jī)，

也可通過網(wǎng)絡(luò)或3.5寸盤存貯在MS-DOS或LIF格式文件Graphic (Agilent-GL,PCL功TIF）

輸出文件還允許將圖形轉(zhuǎn)換為桌面出版軟件。重復(fù)和自動(dòng)測(cè)試

Agilent 4155B的 Agilent儀器BASIC控制器，可在無控制器的外部儀器構(gòu)成自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)。可通過多用觸發(fā)I/O功能與外部儀器相同步。

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