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詳詢(xún) LED顯微曝光系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 無(wú)錫浩輝者新材料科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) 詳詢(xún)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/9 10:45:43
- 訪問(wèn)次數(shù) 526
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LED顯微曝光系統(tǒng)
介紹:
1)顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列,為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備。
2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機(jī),即可在涂布光阻的基板上進(jìn)行數(shù)個(gè)微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形狀可以使用計(jì)算機(jī)繪圖自由制作。
4)可在一般環(huán)境操作,樣品外觀及尺寸限制小,價(jià)格比一般電子束曝光機(jī)更便宜、方便性更高,可以降低研發(fā)成本。
LED顯微曝光系統(tǒng)
使用案例:
√形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測(cè)用試料之電極。
√Mo 原石取出薄片,形成原石特性評(píng)估的電極。
特色:
1、使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統(tǒng),可比既有系統(tǒng)擁有更具性?xún)r(jià)比。
2、軟件操作簡(jiǎn)便,可以自由繪制曝光Pattern。
3、透過(guò)物鏡倍率選擇,調(diào)整曝光范圍大小與分辨率。
4、可以制造微米等級(jí)尺寸的 Pattern 。