一、CT系統(tǒng) 產(chǎn)品概述：

Comet Yxlon FF35 CT X射線系統(tǒng)是一種創(chuàng)新的多功能高分辨率 CT 系統(tǒng)，用于研發(fā)和質(zhì)量保證領(lǐng)域。FF35 CT 符合 SEMI® 的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)（包括 SEMI® S2-0818 和 SEMI® S8-0218 危險(xiǎn)和安全標(biāo)準(zhǔn)）并通過了相應(yīng)的認(rèn)證。

二、CT系統(tǒng)應(yīng)用行業(yè):

汽車制造, 微電子, 航空航天, 科研開發(fā), 鑄造, 半導(dǎo)體, 增材制造

三、CT可檢測哪些物體：

1. 電子器件，包括SMD

2. 增材制造零件、纖維增強(qiáng)塑料

3. 電池電芯和模組

4. 注塑成型塑料

5. 微系統(tǒng) (MEMS, MOEMS)

6. 醫(yī)療用品，例如插管

7. 輕合金鑄件

8. 地質(zhì)、古生物和生物樣本

四、具體應(yīng)用領(lǐng)域：

質(zhì)量保證、材料分析和研究、失效與結(jié)構(gòu)分析、裝配檢查、小批量生產(chǎn)檢驗(yàn)、過程控制、數(shù)字化、無損剖切

五、技術(shù)參數(shù)：

1. 缺陷尺寸:<1µm 缺陷, <50µm 缺陷, <1mm>1mm 缺陷

2. 樣品尺寸: 小型, 中型, 大型

3. 射線源：

4. 運(yùn)行模式: 3D, 2D/3D, 計(jì)量

5. 樣品直徑：530 [mm] (20.9")

6. 樣品高度：800 [mm] (31.5")

7. 最大樣品重量：27 [kg]

六、技術(shù)優(yōu)勢：

1. CT 模式：QuickScan®快速掃描, 質(zhì)量掃描, 錐束 CT, 螺旋 CT, 虛擬旋轉(zhuǎn)軸, 視場擴(kuò)展，批量掃描

2. 單或雙射線管配置，可最大限度提高實(shí)驗(yàn)室微焦點(diǎn)CT應(yīng)用多功能性

3. 只需輕觸一個按鈕，即可在數(shù)秒內(nèi)在 225 kV Micro-focus管和190 kV Nano-focus管之間自如切換

4. 花崗巖底座操控和溫控，確保精確的結(jié)果

5. 通過Geminy軟件平臺進(jìn)行各種CT軌跡和視場 (FoV) 擴(kuò)展，應(yīng)用靈活

6.可選計(jì)量版本，測量精度可達(dá) MPESD = 5.9 µm + L/75 [L in mm]