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AC200-PE 充氮型程控烤膠機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

?溫度分辨率 0.1℃ 控溫精度 ±0.2℃

1.產(chǎn)品概述:

AC200-PE充氮型程控烤膠機是一款門設(shè)計的烤膠設(shè)備,主要適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、鍍膜、薄膜、光學(xué)及表面涂覆工藝等域。以下是對該設(shè)備的詳細介紹:

2.產(chǎn)品特點

充氮保護:在普通烤膠機的基礎(chǔ)上增加了密封蓋和氮氣注入口,確保氮氣能夠均勻通入烤膠機內(nèi)部,形成惰性氣體保護氣氛,有效防止烤膠過程中的氧化反應(yīng),保護基片表面質(zhì)量。

高精度控溫:采用高精度數(shù)顯溫控表控制,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲線,確保烤膠溫度的精確控制。

優(yōu)良的熱均勻性:設(shè)備內(nèi)部設(shè)計合理,能夠確保加熱板面的溫度均勻性,保證烤膠效果的一致性。

安全性高:設(shè)備四周裝有防燙護欄,降低事故發(fā)生率;同時,加熱輸出獨立電路控制,提高了設(shè)備使用安全。

可視化操作:設(shè)備蓋子帶可視窗,實驗過程可實時監(jiān)測產(chǎn)品變化,便于操作人員掌握烤膠進程。

3.技術(shù)參數(shù)

型號:AC200-PE

控溫范圍:可根據(jù)具體需求定制,如室溫250℃、室溫300℃、500℃、600℃、800℃等。

加熱面板尺寸:適合大8”圓晶,加熱面板尺寸可能因型號而異,具體以實際產(chǎn)品為準。

控溫方式:自適應(yīng)PID控制,確保溫度控制的準確性和穩(wěn)定性。

溫度分辨率:0.1℃

控溫精度:±0.2℃

溫度均勻性:≤±1%(板面9點或12點溫度差)

真空度:可根據(jù)配置不同達到不同的真空度,如普通機械泵可達到10-1Pa,分子泵可達到10-3Pa。

電源輸入:AC220V,具體電流需求根據(jù)設(shè)備功率而定。

加熱功率:根據(jù)設(shè)備型號和配置不同而有所差異。

4.應(yīng)用域

AC200-PE充氮型程控烤膠機廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片/晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝加熱過程中,特別適用于需要惰性氣體保護環(huán)境的烤膠工藝。

5.操作注意事項

在使用,應(yīng)仔細閱讀設(shè)備說明書,了解設(shè)備性能、操作規(guī)程及安全注意事項。

操作過程中,應(yīng)嚴格按照設(shè)備操作規(guī)程進行,避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞或安全事故。

設(shè)備在使用過程中,應(yīng)定期進行檢查和維護,確保設(shè)備處于良好狀態(tài)。

在進行烤膠工藝時,應(yīng)根據(jù)具體工藝要求選擇合適的溫度、時間和氮氣流量等參數(shù)。









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