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Stage-Base TMC混合壓電陶瓷電機主動隔振系統(tǒng)
參考價 | ¥ 399999 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 青島森泉光電有限公司
- 品牌 TMC
- 型號 Stage-Base
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/10 11:12:20
- 訪問次數(shù) 1378
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,綜合 |
TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統(tǒng)
TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案,以滿足半導(dǎo)體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導(dǎo)體工具而設(shè)計的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非??焖俚胤€(wěn)定,以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩(wěn)定時間,進一步提高吞吐量,從而為移動平臺應(yīng)用提供zui先jin的主動振動和運動消除系統(tǒng)。
優(yōu)點:
Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種特別的高級低頻消振串行型技術(shù),通過使用音圈電機(VCM),實現(xiàn)了主動移動平臺運動消除。
Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù),使用壓電致動器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實現(xiàn)了zhuo越的消振。這實現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)最佳地面隔振,響應(yīng)于平臺力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。
規(guī)格:
采用特別的STACIS®技術(shù)
采用高力、加長行程的壓電致動器
有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)
框架安裝設(shè)計
6個主動自由度
可選的VCM前饋和/或反饋
始于0.6 Hz的主動隔振
響應(yīng)平臺運動的快速穩(wěn)定時間
無軟空氣懸架
通過USB 2.0實現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數(shù)字控制器
簡單、堅固且經(jīng)濟高效
TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統(tǒng)
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