VP-RS20 等離子體刻蝕機(jī)
- 公司名稱 廣州善準(zhǔn)科技有限公司
- 品牌 SUNJUNE/善準(zhǔn)科技
- 型號 VP-RS20
- 產(chǎn)地 廣州市
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/21 16:10:11
- 訪問次數(shù) 978
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樣品腔尺寸 | 40cm*25cm*20cm | 樣品腔容積 | 20L |
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樣品腔材質(zhì) | 不銹鋼 | 射頻頻率 | 13.56MHz |
射頻功率 | 500W | 功率調(diào)節(jié) | 連續(xù)可調(diào) |
工作氣路 | 2路 | 控制方式 | 自動 |
操作控制 | 觸摸屏控制 | 清洗時間 | 0~1200s可調(diào) |
泄壓 | 自動泄壓 | 真空檢測 | 數(shù)字顯示 |
VP-RS20等離子體刻蝕機(jī)采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置(CN201821506143.X)技術(shù),對標(biāo)國際一線廠家,補(bǔ)充國內(nèi)技術(shù)短板,真空腔體不銹鋼材質(zhì),功率500W,VP-RS20頻率13.56MHz,容積20L,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運(yùn)行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于半導(dǎo)體刻蝕、芯片刻蝕、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
廣州善準(zhǔn)科技有限公司(Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd)位于中國廣州,專注于等離子體刻蝕機(jī)、真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機(jī)的研究、開發(fā)和制造。善準(zhǔn)人經(jīng)過多年的刻苦鉆研,抽絲剝繭,反復(fù)測試、成功獲得“一種低溫旋轉(zhuǎn)型石英等離子表面處理裝置:ZL202020226847.2)”等十項國家技術(shù)及軟件著作權(quán),成為國內(nèi)掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率,保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內(nèi)溫度不超過32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家,應(yīng)用此技術(shù)的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”,補(bǔ)充國內(nèi)技術(shù)空白,性能比肩一線廠家;研發(fā)生產(chǎn)的旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀和旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀成功推出,進(jìn)一步鞏固了善準(zhǔn)科技在真空等離子清洗機(jī)行業(yè)的地位;而回應(yīng)市場需求,解決樣品在無氧無水條件下進(jìn)行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀,則驗證了善準(zhǔn)人與時俱進(jìn)的研發(fā)能力和敢為人先的風(fēng)格;VS-Q系列石英管封管機(jī)解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點,是對石英管真空密封技術(shù)的重新定義。