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FPTOR-ICPRIE-ICP-RIE 感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 孚光精儀
- 型號 FPTOR-ICPRIE-ICP-RIE
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/icprie.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/12/20 12:40:52
- 訪問次數(shù) 586
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感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE由射頻電源感應(yīng)產(chǎn)生等離子體,以產(chǎn)生各向異性蝕刻。在基本ICP-RIE蝕刻系統(tǒng)中,射頻直接連接到用作電極的樣品臺,產(chǎn)生各向同性等離子體。ICPRIE刻蝕系統(tǒng)有時被稱為桶型蝕刻機(jī)。
最初的ICP反應(yīng)器由石英管組成,射頻線圈纏繞在石英管周圍,以產(chǎn)生等離子體,從而產(chǎn)生各向異性蝕刻。感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE有多種類型,其中一種重要類型是將電容耦合偏壓與樣品臺相結(jié)合,以實現(xiàn)電感耦合RF等離子體蝕刻特性的工藝控制。應(yīng)用包括電介質(zhì)材料的干蝕刻。
感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE詳情請聯(lián)系我們索取。
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