Astron HF 15L MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 MKS/美國(guó)
- 型號(hào) Astron HF 15L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/11/23 11:56:40
- 訪問次數(shù) 567
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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號(hào) | AX7640-01 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 | 主要用途 | 遠(yuǎn)程等離子體源 |
| 品牌 | MKS | 型號(hào) | Astron?HF?15L |
| M/N | AX7640-01 | P/N | 0190-73469 |
| 設(shè)備狀態(tài) | Refurblished |
MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS是經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良性能和高可靠性的高性能遠(yuǎn)程等離子體源，是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件，消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污染的來源。ASTRON Series RPS 廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體各制程的清潔環(huán)節(jié)中，可以以各種不同的配置安裝在硅晶圓或大面積基板工藝室上。ASTRON Series RPS效果良好且更加經(jīng)濟(jì)可靠，為CVD室清潔，F(xiàn)PD（平板顯示器）提供所需的反應(yīng)氣體室清潔，太陽能室清潔，光刻膠堆灰，氧化，氮化和化學(xué)消減。
MKS 遠(yuǎn)程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)：Astron HF 15L
AC輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，50/60Hz，440A
散熱方式：水冷散熱
水冷水壓：100 PSIG（Max.）
通信接口：RS-232 / Cust I/O
采購中心
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