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MKS ASTeX AX8560 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 MKS/美國(guó)
- 型號(hào) MKS ASTeX AX8560
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/11/23 13:55:45
- 訪問次數(shù) 653
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 型號(hào) | ASTeX?AX8560 | M/N | AX8560 |
| 設(shè)備狀態(tài) | Refurblished |
MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是專為低流量，高臭氧濃度的如ALD等應(yīng)用設(shè)計(jì)的。AX8560結(jié)合MKS的高濃度、超清潔臭氧產(chǎn)生技術(shù)，集成臭氧濃度監(jiān)測(cè)，流量控制，以及所有獨(dú)立操作所需的儀表和調(diào)節(jié)器。該子系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，可以獨(dú)立，機(jī)架安裝或集成到AX8555多通道臭氧輸送系統(tǒng)。
優(yōu)秀的MKS臭氧發(fā)生器電池技術(shù)通過無聲放電將純氧轉(zhuǎn)化為臭氧，達(dá)到可用的高臭氧濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮?dú)?，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于其他臭氧發(fā)生器所需的氮?dú)馑?，因此最終產(chǎn)生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。
MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 規(guī)格
類型：臭氧氣體發(fā)生器
臭氧輸出：26~180g/hr
流速：0.5~5slm
原料氣：6級(jí)或是更好的氧氣；20~100ppm 5級(jí)或更好的氮?dú)?/span>
額定腔室壓力：10~45psig（0.7~3.1bar）
壓力：20~30psig
水冷溫度：17~23℃
水冷過濾：100微米
水冷水質(zhì)：電阻率≥50KΩ/cm
水冷流量：0.95~6.65L/min
AC輸入：208VAC（±10%），3 phase，5~12A MAX，50/60Hz
設(shè)備重量：40kg（88LB）
尺寸規(guī)格：482 * 429 * 267 mm
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